实验四-椭圆偏振法测new2.docVIP

PAGE PAGE 1 实验四 椭圆偏振法测量薄膜厚度、折射率和金属复折射率 椭圆偏振法简称椭偏法，是一种先进的测量纳米级厚度的方法。椭偏法的测量精度很高（比一般的干涉发高一至二个数量级），测量灵敏度也很高（可探测生长中的薄膜小于0.1nm的厚度变化）。利用椭偏法可测量固体表面纳米级薄膜厚度和折射率，也可测定材料的吸收系数或金属的复折射率等光学参数。因此，椭偏法在半导体、金属材料、光学、化学、生物学及医学领域有广泛的应用 一、实验原理 HST-1型多功能智能椭偏测厚仪是根据椭圆偏振光消光法原理制成。让激光通过起偏器和1／4波片形成一束椭圆偏振光，投射在样品表面，其反射的线偏振光再通过检偏器而消光，从而获得起偏角P和检偏角A，经过计算机计算得到椭偏参数和，查表后便显示薄膜的厚度和折射率，或金属复折射率。 设待测样品是均匀涂镀在衬底上的透明同性膜层．如图4．1所示，n1，n2和n3分别为环境介质、薄膜和衬底的折射率，d是薄膜的厚度，入射光束在膜层上的入射角为，在薄膜及衬底中的折射角分别为和．按照折射定律有 (4.1) 光的电矢量分解为两个分量，即在入射面内的P分量及垂直于入射面的S分量．根据折射定律及菲涅尔反射公式，可求得P分量和S分量在第一界面上上的复振幅反射率分别为 , 而在第二界面处则有 , 从图4．1可以看出，入射光在两个界面上会有多次的反射和折射