用VisualBasic60编程实现显微图像测量-中国显微图像网.PDF

用 Visual Basic 6.0 编程实现显微图像测量 余厚云 邓善熙 杨永跃 丁兴号 摘要：Visual Basic 6.0 具有强大的图形图像处理功能，并广泛应用于图形设计、图像处理及多媒体技术中。 本文着重介绍了 Visual Basic 6.0 在实现显微图像测量中的编程技术，并应用于半导体芯片尺寸测量。 关键词：半导体芯片，显微技术，图像测量， Visual Basic 6.0 编程 The micro-measurement of image based on Visual Basic 6.0 programming Abstract: Visual Basic has a strong function in image processing and it is widely used in the design of graph, image processing and multimedia. This paper focuses on the Visual Basic programming in the micro-measurement of image. The research result has been used in dimension measurement of semiconductor wafer. Keywords: semiconductor wafer ,micro －technique, image measurement, Visual Basic programming 1． 引言 在信息时代，半导体集成器件制造业快速发展，对半导体器件的检测提出了越来越高的 要求。其中显微图像的测量是一个关键问题。本文着重讨论了 Visual Basic 6.0 在实现显微图 像测量中的编程技术。 Visual Basic 语言简单易学，其可视化的用户界面设计功能，把程序设计人员从烦琐复杂 的界面设计中解脱出来。Visual Basic 6.0 通过大量的绘图函数为图形图像处理提供了强大的 功能，使得它在图形图像处理领域有着广泛的应用。 显微图像的处理作为图像处理领域的一个重要组成部分，不仅具有一般图像处理的特 点，而且在图像处理的内容上更具自己的特色。这其中，对于整个显微测量系统的标定又是 尤为重要的一个内容。本文在通过对 Visual Basic 6.0 编程和显微技术以及图像处理技术等进 行认真研究的基础上，给出了 Visual Basic 显微图像处理及测量程序，实现了对半导体芯片 的显微测量。 具体来说，显微系统首先将被测对象放大，并成像于 CCD 的靶面上。接下来，CCD 将 所捕捉到的图像通过图像采集卡送到计算机，最后由计算机实现对所拍摄到的显微图像进行 处理和测量。这里计算机对图像的处理和测量的编程运用的都是 Visual Basic 6.0 语言。 2 ．实现方法 （1） 读入图像 计算机通过采集卡采集到图像后，Visual Basic 的第一个任务就是读入该图像，这是进行 进一步处理的前提条件。由于计算机是以位图形式保存所采集到的图像的，因此可以按如下 程序使用对话框 CommonDialog 将图像读入图片框 PictureBox 。 Private Sub Open_Click() On Error GoTo Err_Handle CommonDialog1.Filter = picture(*.bmp)|*.bmp CommonDialog1.ShowOpen Picture1.Picture = LoadPicture(CommonDialog1.FileName) Err_Handle: End Sub （2 ） 二值化处理 在读入图像后，我们现在要做的工作就是将上面读入到 PictureBox 控件中的图像进行必 要的处理，以满足进一步测量的要求。其中最重要的，也是必不可少的就是对 PictureBox 中的图像进行二值化处理。 二值图像处理在图像分割、图像测量中有着广泛的应用。所谓二值化就是将原来的灰度 图像转换成只有黑和白两种颜色的图像。对于大多数灰度图像来说，图像中的