用于低温半导体器件筛选的新型温度循环设备-中国科学院上海技术.PDF

第 25卷第 2期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1．25．No．2 2006年 4月 J．InfraredMillim．Waves April，2006 文章编号：1001—9014(2006)02—0153—04 用于低温半导体器件筛选的新型温度循环设备 吴礼刚，刘大福，朱三根，吴家荣，洪思敏，龚海梅 (中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室，200083) 摘要：在某些情况下斯特林制冷机采用间歇式工作方式，以延长卫星在太空中的服务年限，因此由斯特林机致冷的 低温半导体器件如HgCdTe中长波红外探测器会经受成千上万次从一173℃以下到常温的温度循环，这个过程可能 会造成器件的失效．为了研究器件的失效机理和可靠性，帮助筛选器件，本文介绍 了一种 自制新型的温度循环实验 设备，型号TCE．a．经过数千次温度循环，设备满足器件筛选实验要求． 关 键 词：低温半导体；温度循环；环境应力筛选 中图分类号：TN306 文献标识码：A NOVELTHERMALCYCLESCREENINGEQUIPMENTFOR CRYOGENIC SEM ICONDUCTOR COMPONENTS WULi—Gang， LIU Da-Fu， ZHU San-Gen， WUJia-Rong， HONGSi-Min， GONG Hai-Mei (StateKeyLaboratoriesofTransduceTechnology，ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics， ChineseAcademyofSciences，Shanghai200083，China) Abstract：Inordertoprolongthelifetimeofsatellites，theStirlingcoolerisoperatedontheintermittentmodeinsomeca— ses．ThussuchcryogenicsemiconductorcomponentsasHgCdT~midorlongwavelengthinfrared(IR)detectorsalesuhjec— tedtothousandsofrepeatedthermal cyclesfrom below 一173℃ toroom temperature．Thatmayinducethefailureofcompo- nents．Inthisstudy．anovelequipmenttostudythereliabilityandthemainfailuremechanismswasintroduced，whichiS usedtoscreensemiconductorcomponents．Afterthousandsofcycles，theequipmentmeetstherequirementofscreening． Keywords：cryogenicsemiconductor；themralcycle；environmentstressscreen(ESS) 真空环境．而且一个斯特林制冷机本身仅能装配一 引言 个探测器来完成温度循环实验，如果用它来测试筛 自环境应力筛选技术问世以来，众多研究和生 选多个器件，将耗费巨大．因此研制一台可以同时测 产部门就温度应力如何有效地激发潜在缺陷问题， 试多个器件的温度循环设备是非常必要的． 开展了许多有益地尝试．统计数据表明，环境应力筛 该设备基于热传导原理研制而成，在研制之初， 选所揭示的产品缺陷中，80％左右是温度循环激发 通过有限元算法，对降温情况进行了模拟．装在内部 的…．由于材料热膨胀系数(CTE)不匹配，在温度循 的多个器件在模拟太空的真空环境中经受