光子晶体表面波导与内波导的耦合特性研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 学位论文独创性声明 一、学位论文独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写 过的研究成果，也不包含为获得南昌大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名（手写）： 签字日期： 年 月 日 二、学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解南昌大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授 权南昌大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。同时授权北京万方数据股份有限公司和中 国学术期刊（光盘版）电子杂志社将本学位论文收录到《中国学位论文全文数据库》和《中 国优秀博硕士学位论文全文数据库》中全文发表，并通过网络向社会公众提供信息服务， 同意按“章程”规定享受相关权益。 学位论文作者签名（手写）： 导师签名（手写）： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 论文题目 光子晶体表面波导与内波导的耦合特性研究 姓 名 李思众 学号 405510809146 论文级别 博士□ 硕士□ 院/系/所 理学院物理系 专业 光学工程 联系电话E_mail HYPERLINK mailto:lsz214@163.com lsz214@163.com 通信地址(邮编)：湖南省湘潭县易俗河镇金桂中路 75-19(430321) 备注： □公开 □保密（向校学位办申请获批准为“保密”， 年 月后公开） I 摘 要 摘 要 集成光学概念的提出已经将近半个世纪，但基于传统光波导器件的尺寸较 大和集成度低等问题一直制约着光子集成。光子晶体，自 1987 年被 Yablonovitch 和 John 同时提出这种周期性介电材料以来，其能够调控光子运动的特性便开辟 了一条新的方向来实现光子集成回路(PICs)。光子晶体的周期尺寸为微纳数量 级，其形成的光子晶体波导具有高效导光和尺寸微小等特性，可以实现超低损 耗的光传输。作为构建 PICs 中重要元件的光子晶体波导，本论文从二维光子晶 体平板结构的外部和内部展开，结合该结构的表面模特征，研究光子晶体表面 波导与内波导的光传输特性。 首先研究了基于正方晶格介质柱型光子晶体表面波导的表面模式及其光传 输特性，利用时域有限差分法模拟了光子晶体表面波导上的光波传输行为。模 拟结果表明，这种光子晶体表面可以实现高效的导光。同时通过研究比较相同 结构内波导与外波导的光学特性，发现通过调整两波导结构的细微参量即可以 实现彼此间高效的模式匹配，从而能够用来设计一款新型、高效、双向和宽带 宽的表面波导耦合器。 其次研究利用光子晶体表面锥形结构来优化光子晶体表面波导与内波导的 接口，从而同样实现高效的光波耦合导入光子晶体内波导。通过讨论和比较光 子晶体表面波导与内波导两者在光学模式、透射谱效率等方面的特性，研究改 变波导结构中光波传播路线上的介质柱半径，以实现对其波导光学模式的调制， 同时优化锥形接口，有效抑制光波在耦合过程中的反射。模拟结果表明，光波 导入耦合效率高，并且耦合边界结构设计简单。 最后基于相关的实验条件，实验探索了光子晶体结构的制备和光学特性研 究。采用纳米球刻蚀技术，研究利用自组装来形成大面积聚苯乙烯小球薄膜， 然后将其作为掩膜铺设在硅基片表面，结合等离子刻蚀刻蚀技术、热蒸发技术、 湿法腐蚀等方法，最后制成具有六方晶格结构的光子晶体。测试结构表明，该 纳米结构具有很好的周期性及其陷光效果。 论文通过结合光子晶体表面波导与内波导的特性来实现光波的高效耦合， 同时探索了光子晶体结构的制造工艺，为实现具有新型优越功能的光子学器件 提供了较好的思路与方法。 关键词：光子晶体波导；表面模式；表面波导；耦合器；锥形结构 II Abst Abstract ABSTRACT Although the concept of integrated optics has been presented nearly half a century, the photonic integration is far from the expectation due to the large sizes of components and low degree of integration. Since 1987, the concept of Photonic crystals(PCs) have been put f