硅基光学移相器研究-电磁场与微波技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文《硅基光学移相器研究》，是 本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经 注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰 写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密□，在 年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 硅基光学移相器研究 摘 要 硅基光子学是集成光学的重点研究方向，特别是在通信领域，它为片 上光互连和信号处理提供了有效的解决方案。借助于硅材料本身的特性， 硅基光子器件具有低成本、高集成度等诸多优势。硅基移相器就是其中的 一种重要元件，它实现了对光波相位的调控，可应用在高阶调制器、延迟 线、可调光衰减器等器件中。 目前，硅基移相器大多通过改变波导折射率来实现，与调制原理相似， 可以分为：基于载流子色散效应的移相器和基于热光效应的移相器。论文 分别对这两种硅基移相器的工作原理进行介绍，对比了这两类移相器的 优缺点。接着，分别针对不同的结构，仿真设计并在实验上实现了高效率、 低损耗的硅基光学移相器。同时，在实验中探索了不同设计参数对于硅基 移相器性能的影响，为今后进一步优化硅基光学移相器提供参考。最后， 论文介绍了以可调光衰减器为代表的硅基移相器的应用。主要内容包括： 1. 基于载流子色散效应的硅基移相器 首先介绍了载流子色散型移相器的工作原理以及典型结构。目前，基 于载流子色散的硅基移相器主要采用 p-n 或者 p-i-n 结型波导结构。论文 分别对两种结构进行设计、分析，详细研究了几种设计参数对移相器性能 第 I 页 的影响，通过优化移相器的设计参数，最终在实验上实现了高性能的移相 器。对其中掺杂浓度、掺杂区尺寸、掺杂区位置等重要的设计参数，详细 研究了它们对移相器性能的影响。 2. 基于热光效应的硅基移相器 由于硅材料具有较高的热光系数，热光调节一直在硅基光子器件中 发挥着重要的作用。热光移相器也是主流的硅基移相器之一。论文对其原 理和研究现状做了介绍，对传统金属电极型热光移相器、p-i-p 型热光移 相器以及波导单边掺杂型热光移相器进行了对比。最后，着重对于目前比 较热门且实用性较高的波导单边掺杂型移相器和 p-i-p 型移相器进行了仿 真与设计，最后，在实验上验证了设计的移相器具有低功耗、高集成度等 优点。同时，探索了波导长度、波导宽度、掺杂浓度、掺杂区到波导侧壁 距离等参数对于移相器性能的影响。 3. 移相器的应用 移相器作为硅基光子器件中重要的基本器件，有着广泛的应用。论文 着重对于基于等臂马赫-增德尔干涉仪（Mach-Zehnder Interferometer, MZI） 结构的可调光衰减器进行了介绍。设计、提出了基于热光移相器的低功 耗、大衰减范围的可调光衰减器，并在实验上予以验证。最后，通过对比 实验结果简要分析了移相器长度等参数对于可调光衰减器性能的影响。 第 II 页 关键词：硅基光子学，移相器，载流子色散效应，热光效应，可调光 衰减器 第 III 页 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 STUDY ON SILICON-BASED OPTICAL PHASE SHIFTERS ABSTRACT Silicon photonics has been a hotspot with great demand in integrated photonics for optical communication. It provides low cost and high level of integration to the ever expanding demand in optical interconnections and signal processing. Among various silicon based devices, silicon optical phase shifters which realize on-chip phase c