过渡层对PET基SiO2薄膜结合强度的影响-机械工程专业论文.docxVIP

湖南工业大学学位论文原创性声明 本人郑重声明:所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下， 独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本 论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文 的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本 人完全意识到本声明的法律结果由本人承担 。 作者签名 :看注运 日期:t/ 7 年内 IR 日 湖南工业大学论文版权使用授权书 本人了解湖南工业大学有关保留 、使用学位论文的规定，即:学 校有权保留学位论文，允许学位论文被查阅和借阅;学校可以公布学 位论文的全部或部分内容，可以采用复印、缩印或其他手段保存学位 论文;学校可根据国家或湖南省有 关部门规定送交学位论文 。 黯摇快民作者签名6还叫叮才月: .r年 L 月 黯摇快民 万方数据 万方数据 摘 要 本文根据 PET 基 SiO2 薄膜的特点，以提高结合强度为目的，提 出了该薄膜过渡层的设计思路。采用磁控溅射技术制备了 PET 基 SiO2 薄膜，并就不同材料、层数的过渡层及其制备、后处理工艺对 PET 基 SiO2 薄膜结合强度的影响进行了系统地研究。 通过磁控溅射技术制备了具有不同过渡层的 PET 基 SiO2 薄膜， 研究了过渡层的材料和层数对该薄膜结合强度的影响，结果表明： 过渡层材料为 MgO 时 SiO2/PET 复合膜的结合力最高，比无过渡层 时提高 82%，而 TiO2、Al2O3 为过渡层时分别提高 65%、73%；双 层结构的过渡层可进一步提高复合膜的结合力，较单层过渡层时提 升 4.58%~12.89%。 研究了 MgO 过渡层制备工艺参数对 SiO2/MgO/PET 复合膜结合 强度的影响规律，结果表明：结合强度随本底真空度的增高而增 大，随射频功率、氩气流量、溅射时间的增大而呈现先增大后减小 的变化规律；按对结合强度的影响由大到小的顺序，MgO 过渡层的 制备参数可排列为：本底真空度射频功率氩气流量溅射时间； 本底真空度 0.5×10-3Pa、射频功率 250 W、氩气流量 20 mL·min-1、 溅射时间 12 min 参数下制备的过渡层，复合膜的结合强度最高。 同 时 ， 还 研 究 了 MgO 过 渡 层 不 同 的 后 处 理 工 艺 参 数 对 SiO2/MgO/PET 复合膜结合强度的影响规律，发现：过渡层经过后处 理的复合膜结合力比未处理的提升 25.6%；过渡层后处理工艺中， 复合膜的结合强度随溅射时间、本底真空度的增大而增大，随射频 功率和氩气流量的增大先增大后减小；其中，射频功率对结合强度 的影响最大，本底真空度次之，然后是溅射时间和氩气流量；过渡 层最佳后处理工艺为射频功率 60 W、本底真空度 0.5×10-3Pa、溅射 时间 300s、氩气流量 15 mL·min-1。 关键词：结合强度，复合膜，过渡层，后处理 I ABSTRACT The design ideas of the interlayer of PET-based SiO2 films are proposed according to PET-SiO2 films characteristics. PET-based SiO2 films are prepared using magnetron sputtering technology. The influences of materials, number of layers, depositing parameters and post-processing of interlayer on the adhesion strength of PET-based SiO2 are studied systematically. PET-based SiO2 films with different interlayers are deposited by magnetron sputtering. The influences of materials and number of layers of interlayer on its adhesion strength are studied. Results show that SiO2/PET composite film with MgO interlayer has the highest adhesion strength, which is 82% higher than that without interlayer, while TiO2 and Al2O3 interlayers increase adhesion strength by 65% and