光热辐射背检测技术对材料热扩散率的测量研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 MEASUREMENT OF THERMAL DIFFUSIVITIES OF VARIOUS MATERIALS USING PHOTO-THERMAL RADIOMETRY BACKWARD DETECTION TECHNOLOGY A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Majo r: Optical Engineering Auth or: Ma Xingchen Advi sor: Gao Chunming Scho ol : School of Optoelectronic Information 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的 地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不 包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的 材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的 规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允 许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或 部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 摘要 摘要 本文在光热辐射(PTR)简化理论模型的基础上，利用 PTR 背检测技术开展了对 金属体材料和薄层材料热扩散率的测量研究，准确测量了不同材料的热扩散率值， 获得的实验结果准确有效。 （1）完成了 PTR 背检测技术对金属体材料热扩散率的测量研究。首先，根据 三维热传导理论及灰体辐射理论，建立了 PTR 单层简化理论模型，获得了 PTR 背 检测技术的理论。其次，设计并建立了 PTR 背检测实验系统，开展了对标准样品 紫铜和铝的体材料热扩散率值的验证测试。本系统在简化结构的同时，实验中测 试信号稳定，获得了较好的信噪比，实验数据准确有效，与理论曲线的拟合度高。 通过对比振幅—频率关系及相位—频率关系的测量结果，得到利用相位信息能够 更加准确有效地测量材料的热扩散率值。这表明 PTR 背检测系统的可靠性和准确 性。第三，开展了对其他金属体材料热扩散率的测量，样品的实验测量值与相应 材料的参考值完全一致。分析六种不同材料的测量结果，相对误差 ??均小于 3.0％。 利用参数对拟合结果进行分析，决定系数 R2 均大于 97％，一致性参数 var 均小于 0.01。本文 PTR 背检测技术能够准确测量材料的热扩散率。 （2）完成了 PTR 背检测技术对金属薄层材料热扩散率值的测量研究。首先， 利用 ANSYS 软件的热分析功能对不同厚度的模型内部温度场分布进行了仿真，通 过温度分布结果可以看出随着材料厚度降低，薄层材料的导热性能受边界影响而 不同于厚度较大的体材料。其次，利用 PTR 背检测实验系统对不同厚度的铝及紫 铜薄层材料的热扩散率值进行测量研究，测得厚度为 40um 和 20um 铝的热扩散率 值分别为 78.999mm2/s、68.271mm2/s，厚度为 20um 和 10um 紫铜的热扩散率值分 别为 90.059mm2/s、83.131mm2/s。分析实验测量结果，决定系数 R2 均大于 97％， 一致性参数 var 均非常小，相比于传统的 PTR 检测方法，本文测量值更加可靠。 材料厚度到微米量级时，薄层材料的热扩散率值要小于相应的体材料热扩散率值。 实验结果表明本文 PTR 背检测技术能够准确测量材料的热扩散率，利用相位 信息拟合计算得到的热扩散率值更加准确有效。在微米量级时薄层材料的热扩散 率值要小于相应的体材料热扩散率值。 关键词：光热辐射；热扩散率；背向检测 I ABSTRACT ABSTRACT The thermal diffusivities of various metal bulk materials and thin metal layers have been measured by the photothermal radiometry backward detection (PTR BD) technique, based on a simplified single-layer model of PTR theory in this paper. The thermal dif