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南京航空航天大学硕士学位论文
南京航空航天大学硕士学位论文
固结磨料化学机械研抛光学玻璃的材料去除机理研究
固结磨料化学机械研抛光学玻璃的材料去除机理研究
摘要
随着光学、光电子学及数码产品的蓬勃发展,K9 玻璃已在诸多领域得到了广泛的应用。由 于 K9 玻璃属于硬脆材料,在加工过程中极易发生脆性破坏,传统加工技术难以获得超光滑高 质量的表面。近年来,固结磨料化学机械抛光技术以其工艺可控性强、加工效率高、加工成本 低以及绿色环保等一系列优点受到越来越多的关注。本文采用显微硬度方法分析了化学机械研 抛中研抛液对 K9 玻璃表层硬度的影响,采用失重法对固结磨料研抛 K9 玻璃的材料去除过程中 的机械与化学作用进行了分离,利用正交实验的方法研究分析了各加工参数对 K9 玻璃研磨和 抛光的材料去除率及三维轮廓表面粗糙度影响,优化 K9 玻璃的研磨抛光工艺。本文所完成的 主要工作和研究成果如下:
(1)研究了研抛液对 K9 玻璃的化学作用
采用去离子水和研抛液分别浸泡 K9 玻璃,测量并比较浸泡后 K9 的维氏硬度和压痕对角线 长度,根据所测数值进一步计算出 K9 玻璃表面生成的变质层厚度,验证了研抛液对 K9 玻璃的 化学作用和变质层厚度随浸泡时间的变化规律。研究表明:研抛液对 K9 玻璃有比较剧烈的化 学作用,可以在 K9 玻璃表面形成变质层,随着浸泡时间的延长变质层的厚度逐渐增加但增加 趋势逐渐减缓。
(2)探索亲水性固结磨料研抛垫研抛 K9 玻璃的材料去除机理
对固结磨料研抛 K9 玻璃过程中的机械与化学作用进行了分离,将 K9 玻璃的材料去除量分 为:研抛液化学作用的材料去除量,磨粒的机械作用的材料去除量,基体的机械作用的材料去 除量,磨粒的机械与化学交互作用的材料去除量,基体的机械与化学交互作用的材料去除量。 经试验分析了各部分作用对 K9 玻璃材料去除率的影响。其中得出,磨粒的机械与化学的交互 作用是影响 K9 玻璃材料去除的主要因素,约占材料去除率的 80%。
(3)亲水性固结磨料研抛垫研磨 K9 玻璃的工艺优化
采用 CETR CP-4 研磨抛光机对 K9 玻璃研磨工艺进行了优化研究,利用正交实验的方法研 究分析转速比、研磨压力、研磨液流量对 K9 玻璃研磨的材料去除率和三维轮廓表面粗糙度影 响。得出 K9 玻璃研磨的最佳工艺参数为:研磨压力 55MPa、转速比 145(rpm)/150(rpm)、 研磨液流量 60ml/min。经试验,K9 玻璃研磨的材料去除率为 3186nm/min,三维轮廓表面粗糙 度 Sa 值为 19.6nm。
(4)亲水性固结磨料研抛垫抛光 K9 玻璃的工艺优化
采用 CETR CP-4 研磨抛光机对 K9 玻璃抛光工艺进行了优化研究,利用正交实验的方法研 究分析转速比、抛光压力、抛光液流量对 K9 玻璃抛光的材料去除率和三维轮廓表面粗糙度影
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响,得出 K9 玻璃抛光的最佳工艺参数为:抛光压力 13MPa、抛光机转速比 195(rpm)/200(rpm)、 抛光液流量 30ml/min。经试验,K9 玻璃抛光的材料去除率为 72nm/min,三维轮廓表面粗糙度 Sa 值为 1.94nm。
关键词:研磨抛光,亲水性固结磨料研抛垫,K9 玻璃,研抛液,材料去除机理。
Abstract
With the development of optics, optoelectronics and digital products, K9 optical glass has been widely used in many fields. And the surface quality is required strictly. K9 glass is a kind of hard-brittle materials and easy to brittle failure. It is difficult to obtain super-smooth surface by traditional processing technology. In recent years, Fixed-Abrasive
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