光刻机运动平台功率放大控制卡的设计与实现-机械电子工程专业论文.docxVIP

华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 IC 关键装备及超精密制造技术直接体现了一个国家的制造技术水平和能力，光刻 工艺对芯片产业发展的起到决定性作用。运动控制系统作为光刻机样机实现的最核心 部分，所以设计并实现复杂的运动控制系统是光刻机样机的关键技术所在。 本文首先分析了所设计的功率放大控制板卡在整个复杂的光刻机运动控制系统的 物理位置，通过在对整个控制系统对板卡的功能需求和对板卡实际工作过程的分析基 础上，完成了控制电路的总体硬件方案和逻辑功能代码设计。 采用高集成度现场可编程门阵列(FPGA)作为核心处理器，因为 FPGA 具有高速、 高灵活性、高可靠性和易于开发等优点。采用 16 位高精度的模数(DA)转换器作为板卡 的核心电路，用于接收上层板卡传输的数字指令通过转换来控制伺服驱动器。采用了 16 位高精度数模(AD)转换电路以实时采集 DA 转换的模拟量，以达到整体的校准作 用。同时为了保证精度要求，分别对 AD 和 DA 进行标定，标定后结果表明两者精度 均满足设计的需求。采用了采用光纤作为传输通道的硬件电路，通过以太网收发器芯 片实现了并串/串并转换(SERDES)，并通过光电/电光转换提高数据的传送率、电磁干 扰。同时制定了为实时数据传输的高速串行链接通信协议(HSSL)。板级调试结果表明 基于此协议数据能准确的传输且传输延时时间小。采