光波导环形谐振腔生化液体传感器的研究-光学工程专业论文.docxVIP

I I 摘 要 摘 要 光学生化传感器通过将信息的采集与传输放在光域进行从而可有效的避免外 界电磁场干扰，具有探测信号稳定可靠等优点，并可实现远距离监控下的现场检 测，因此受到人们的广泛关注。光学生化传感器就工作原理不同主要分为荧光型 与倏逝波型，其中倏逝波型由于可通过引入集成光波导技术以及各种光学干涉结 构从而具有高灵敏度、多功能、微型化等特征，此外，其制作工艺与当前成熟的 微电子工艺相兼容，因此成为了目前研究的重点。 光波导环形谐振腔结构紧凑，设计灵活，可实现较高的品质因数，将其用于 生化传感器除了能够实现光学传感器的各种优点外，还能够获得较高的灵敏度， 因此研究基于光波导环形谐振腔的生化传感器具有非常重要的意义。鉴于此，本 文以聚合物为光波导材料，以葡萄糖的浓度检测为目标，研究了基于双模干涉仪 （Two-mode Interferometer，TMI）的聚合物光波导环形谐振腔生化传感器的设计、 制作及相关传感测试技术。本文主要的工作及成果如下。 （1）根据选定的聚合物材料，利用有效折射率方法、马卡梯里方法对构成环 形谐振腔的单模以及双模矩形光波导进行了分析设计，同时对器件可检测的溶液 折射率范围进行了研究；进一步结合耦合模理论对构成环形谐振腔的 TMI 的参数 进行了设计分析。 （2）介绍了环形谐振腔的基本结构和主要特征参数；对环形光波导的弯曲损 耗的计算，并结合环的光传输特性分析设计了环形谐振腔的参数。 （3）根据环形谐振腔的设计参数，设计并通过外协加工制作了相应的光刻掩 模版；研究了光刻、磁控溅射镀膜、感应耦合离子刻蚀（Inductively Coupled Plasma， ICP）等器件制作工艺并成功的制备了较好侧壁垂直度且表面光滑度较好的聚合物 光波导环形谐振器。 （4）搭建高精度光学测试平台，建立测试流程，对制作固定上包层的环形谐 振器进行通光测试以及相应的谐振特性的测试，可获得的最大波长隔离度 18 dB； 对四种浓度的葡萄糖溶液进行了传感测试，对器件的传感特性以及灵敏度进行分 析，通过不断地优化实验过程中的工艺参数，器件的探测极限可达到 3.8×10-4 RIU。 关键字：聚合物光波导,环形谐振腔,生化传感器,葡萄糖浓度 II II ABSTRACT ABSTRACT Optical biosensor prevents external electromagnetic interference effectively by collecting and transmitting information on the optical domain. It has better stability and reliability, and can work by way of monitoring. It has a high development prospect and widespread attention today. According to its sensing principle, the optical biosensor is divided into fluorescent type and evanescent wave type. The evanescent wave biosensor has higher sensitivity, more functionality and miniaturization by introducing various of optical interference structures which are based on integrated optical waveguide technology. In addition, its fabrication process is also compatible with mature microelectronics technology, thus becoming the focus of the study. Optical waveguide ring resonator has compact structure, flexible design, easy integrated and can achieve a high quality factor. The optical biochemical sensor based on the optical waveguide ring resonator not only has the advantages of that optical sensor has, but also can achieve higher