光学相干层析术中傅里叶变换光谱探测装置关键问题研究-光学工程专业论文.docxVIP

硕士学位论文 硕士学位论文 光学相干层析术中傅里叶变换光谱探测装置关键问题研究 目 录 摘兰兽 I Abstract ．．． lI 1绪论 ．1 1．1研究背景 ．1 1．1．1 SDOCT研究背景 ．1 1．1．2光谱仪研究背景 ．．2 1．2光谱仪分类 3 1．3微机电(MEMS)反射镜技术简介 ．4 1．4国内外光谱仪发展状况 6 1．4．1 传统傅里叶变换光谱仪发展状况 6 1．4．2基于MEMS技术的微型光谱仪发展状况 ．．7 1．5本论文主要研究内容 9 2傅里叶变换光谱仪原理与系统 ．10 2．1 傅里叶变换光谱仪原理 ．10 2．1．1傅里叶变换光谱原理与公式推导 ．．10 2．1．2傅里叶变换系统分辨率 ．．12 2．2采样系统 13 2．3激光标定算法 ．14 2．4数字滤波器 16 2．5仪器指标与计算方法 18 2．5．1基线与吸光度定义 。19 2．5．2基线噪声指标 。20 2．5．3纵向重复性指标 。2l 2．5．4波长指标 ．．21 2．5．5测试流程 ．．22 2．6本章小结 23 3 MEMS运动状态分析及对系统的影响 24 3．1 MEMS总行程的变化 24 3．1．1实验分析 24 3．1．2位移量变化的影响 ．25 Ill 万方数据 目录 目录 硕士学位论文 3．2 MEMS运动速度的变化 27 3．3 MEMS运动镜面倾角的变化 30