光子嫩肤用滤光片的研究-物理电子学专业论文.docxVIP

I I 摘 要 强脉冲光子嫩肤技术是继激光美容技术之后新兴发展起来的一种美容技术， 其原理是强脉冲氙灯发出宽光谱光，通过采用特定的滤光片滤除紫外光并选择用 于治疗范围的标准谱段，作用于人的皮肤组织，达到美容治疗的效果。其相关滤 光片的膜系设计与制备工艺的难点在于此类滤光片的高通带透射率、宽截止带、 高陡度的要求。本文主要从以下几个方面展开研究。 本文采用规整膜系和自动优化两种方法进行设计。在规整膜系设计中，以长 波通膜系为主膜系，除了采用等效折射率方法外，又提出了一种基于自动优化的 新方法－非规整膜层匹配方法。将两种方法进行比较，突出了非规整膜层匹配方 法的优越性，证明是一种很好的设计方法，并可用于其他膜系的设计。 在自动优化设计中将传统的局部优化方法和 Needle 法及 Tunneling 法相结合， 并将膜厚容差和膜厚限制作为参数考虑到膜系设计中，构造了新的评价函数；分 析了初始膜厚度及初始膜材料对优化结果的影响，确定了较优的初始参数；通过 比较不同膜系的膜厚灵敏度因子，得到了具有实际镀制特性的最优理论解，具有 实际的指导意义。 采用正交实验法来分析薄膜制备中的工艺因素(基片温度、蒸发速率、离子束 流密度和屏极电压)对薄膜表面质量、附着力和光谱特性的影响，确定了最佳的离 子辅助镀膜(IAD)工艺参数，同时分析了薄膜制备后期的空气退火烘烤处理对其性 能的影响，通过多次实验得到了较佳的退火温度和时间。积累了一些对于今后研 究工作具有指导意义的结果。 研究了 IAD 工艺与常规电子束蒸发镀制的滤光片在光学性质和理化性质方 面的差别，分析结果表明 IAD 技术提高了聚集密度，显著改善了薄膜的结构和光 学特性。 完成了大量薄膜淀积实验，最后镀制了满足实际使用要求的光子嫩肤用滤光 片，已用于光子嫩肤仪的使用中，效果良好。 关键词：强脉冲光子嫩肤技术 膜系设计 自动优化 离子辅助镀膜工艺 II II Abstract Intense Pulsed Light photorejuvenation is the newest hairdressing technology after laser hairdressing technology. The principle of the technology is the intense pulsed Xe light emits wide spectral range, special filter are used to filtering UV-light and select standard wave range for treatment, the light have the effect on human’s skin organization and have hairdressing impact. The difficulty of the related filter’s design and deposition lie in the high requirement about high transmittance of pass band, broad rejection zone and high steepness. There are several aspects discussed in this article. Two methods are adapted to design filters in the article: stack formula design and automatic optimizing design. We use long-pass symmetrical period as main film system when using regular layers design method. Besides the Herpin index method, a new non-symmetrical period matching layers approach is also been put forward. Comparing the two methods, the latter is superior to the former in several aspects. So non-symmetrical period matching layers approach is proved to be a good film design method and can also be used to other symmetrical film design. The traditional local o