光栅单色器系统超环面镜转动机构优化设计-中国光学-上海应用物理.PDF

第41 卷 第3 期 核 技 术 Vol.41, No.3 2018 年3 月 NUCLEAR TECHNIQUES March 2018 光栅单色器系统超环面镜转动机构优化设计 1,2 1 1 1 陈家华 徐中民 甄香君 薛 松 1 （中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区 上海 201800 ） 2 （中国科学院大学 北京 100049 ） 摘要 为了减少软X 射线谱学显微光束线开光后光栅单色器系统光通量漂移的稳定时间，通过有限元分析开 光后超环面镜转动机构的瞬态温度，得到2 h 后推杆方向总的线性热膨胀量，以及由此引起聚焦光斑在出射狭 缝中心处的水平偏移量。结果显示：超环面镜推杆方向热膨胀量为 0.97 μm ，聚焦光斑的水平偏移量达到 141 μm ，而狭缝水平开口仅为50 μm ，由此推断光通量漂移产生的主要原因是超环面镜吸收的热负载缓慢传导 至正弦机构引起Pitch 角持续变化。据此设计了超环面镜间接水冷结构，通过对结构优化后的超环面镜箱开光 测试，将稳定时间由2 h 以上缩短到30 min 左右，有效地提升了用户机时的利用效率。 关键词 光栅单色器系统，超环面镜，光通量漂移，线性热膨胀，间接水冷 中图分类号 TL99 ，TH122 DOI: 10.11889/j.0253-3219.2018.hjs.41.030101 Optimized rotation mechanism of the toroidal mirror at grating monochromator system CHEN Jiahua1,2 XU Zhongmin1 ZHEN Xiangjun1 XUE Song1 1(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Jiading Campus , Shanghai 201800, China) 2( University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) Abstract [Background] Rotation mechanism of the toroidal mirror is a main part of the grating monochromator system, which is a key equipment of the soft X-ray spectromicroscopy beamline. Flux stabilization is essential to every experiment. However, a long stabilization time exceeding 2 h causes a serious waste of beamline time. [Purpos