硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的原子力显微镜研究.pdf

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 11 (2014) 116801 硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的 原子力显微镜研究 余森江 (同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092) (中国计量学院物理系, 杭州 310018) ( 2014 年1 月3 日收到; 2014 年2 月18 日收到修改稿) 利用喷雾装置在清洁载玻片上喷洒出各种尺寸(微米到毫米量级) 的硅油滴, 采用直流磁控溅射方法在硅 油滴上沉积金属铬薄膜, 研究了薄膜中由热应力引起的自组装褶皱. 实验发现硅油滴上的铬薄膜受到油滴边 缘的约束而具有受限的边界条件, 其对褶皱的形貌具有很好的调控作用: 褶皱呈垂直于边界的辐射状条纹; 越靠近约束边界, 褶皱的波长和振幅越小. 褶皱的形貌特征还与薄膜厚度和硅油滴尺寸密切相关. 随着膜厚 的增加, 褶皱在约束边界处首先形成, 并逐渐扩展到油滴中心区域