超微粒氧化锌薄膜的制备及表面STM观测-本原扫描探针显微镜SPM.PDF

( ) 　　　　　　　　　　传感器技术 JournalofTransducerTechnolo gy 　　　　　　1998 年 第 17 卷 第 6 期 81 　　　 超微粒氧化锌薄膜的制备及表面 STM 观测 王 　巍 　戴建明　谢敬波 　王春瑞 　王声乐 　　　潘孝仁 ( ) ( ) 　　　　　　　　　　　 淮北煤炭师范学院物理系 ,淮北 235000 　　　 华东理工大学 摘 　要 　作者在大气 、常温环境条件下 ,对采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备 n 的超微粒氧化锌薄膜的表面构象进行了扫描隧道显微镜观察 ,获得了一些用传统电子显微 镜所难以观察到的新现象 ,并结合工艺条件对其构象作了一定程序的解释 ,提出了热处理对 c 其表面构象的影响 。 . 关键词 　扫描隧道显微镜 　超微粒子 　表面 　择优生长 PreparationandSTMObservationofZnOUFPThinFilms WangWei 　DaiJianmin g 　XieJin gbo 　WangChunrui 　WangShen gyue m (De partmentofPh ysics,HuaibeiCoalIndustr yTeachersColle ge,Huaibei235000 ) PanXiaoren o (EastChinaUniversit yofScienceandTechnolo gy) c Abstract　Theima gesofZnOUFP (UltrafineParticles ) thinfilm preparedb ydcdischar ge . activatin greactioneva porationtechni quewereobservedb ySTMinatmos phere.Someresults whichwerever ydifficulttobeobtainedb yTEMhadbeendiscovered.Theauthorex plainedits mechanismcombinin gwith processingconditions,andtheeffectofheattreatmentonits morphologyhadbeendiscussed. m KeyWords 　Seanningtunnelin gmicrosco pe ( STM) 　Ultrafine partical ( UFP ) 　Surface 　 Growthof preferredorientation p 0 　引　言 s 技术在大气中常温条件下 ,对采用直流气体 1983 年 Binni g 和 Rohrer 发明的扫描隧 放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锌薄膜 . ( ) [1,2] 道显微镜 STM , 由于其极高的空间分 进行了研究 。 (