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碳化硼薄膜制备技术研究进展.PDFVIP

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  • 2019-04-08 发布于湖北
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碳化硼薄膜制备技术研究进展.PDF

    第39 卷 第6 期 现 代 技 术 陶 瓷 Vol. 39 No. 6 2018 年12 月 Advanced Ceramics December 2018 中图分类号： O484.5 文献编号： 1005-1198 (2018) 06-0417-15 文献标识码： A DOI ： 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2018.07.016 碳化硼薄膜制备技术研究进展 涂 溶，胡 璇，章 嵩，王传彬、沈 强、张联盟 武汉理工大学 材料复合新技术国家重点实验室，武汉430070 摘 要: 本文归纳了碳化硼薄膜的主要特性以及近年来在功能陶瓷、热电元件等方面的广 泛应用。总结了目前物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉

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