试验一精密位移量的激光干涉测量方法及试验-东南大学设备处.DOC

PAGE PAGE 1 激光多功能光电测试实验系统 实验指导书 东南大学仪器科学与工程学院 2007-5 目 录 TOC \o 1-1 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc209878483 一、 仪器概况 PAGEREF _Toc209878483 \h 1 HYPERLINK \l _Toc209878484 二、 仪器原理 PAGEREF _Toc209878484 \h 1 HYPERLINK \l _Toc209878485 三、软件使用与操作 PAGEREF _Toc209878485 \h 4 HYPERLINK \l _Toc209878486 四、使用要点 PAGEREF _Toc209878486 \h 15 HYPERLINK \l _Toc209878487 五、仪器配置 PAGEREF _Toc209878487 \h 15 HYPERLINK \l _Toc209878488 实验一 精密位移量的激光干涉测量方法及实验 PAGEREF _Toc209878488 \h 16 HYPERLINK \l _Toc209878489 实验二 数字干涉测量方法及实验 PAGEREF _Toc209878489 \h 20 HYPERLINK \l _Toc209878490 实验三 面形的三维干涉测量及评价（PV 值与RMS 值） PAGEREF _Toc209878490 \h 23 HYPERLINK \l _Toc209878491 实验四 光学系统的波差测量 PAGEREF _Toc209878491 \h 25 HYPERLINK \l _Toc209878492 实验五 光学系统的PSF 及MTF 评价 PAGEREF _Toc209878492 \h 27 HYPERLINK \l _Toc209878493 实验六 缝宽或间隙的衍射测量 PAGEREF _Toc209878493 \h 30 HYPERLINK \l _Toc209878494 实验七 微孔直径的衍射测量 PAGEREF _Toc209878494 \h 33 HYPERLINK \l _Toc209878495 实验八 巴俾特原理及细丝直径测量 PAGEREF _Toc209878495 \h 35 HYPERLINK \l _Toc209878496 实验九 变形的全场衍射测量 PAGEREF _Toc209878496 \h 37 HYPERLINK \l _Toc209878497 实验十 光散斑的性质及测试方法 PAGEREF _Toc209878497 \h 39 HYPERLINK \l _Toc209878498 实验十一 面内位移的散斑测量 PAGEREF _Toc209878498 \h 41 HYPERLINK \l _Toc209878499 实验十二 光纤传感技术的原理实验 PAGEREF _Toc209878499 \h 43 HYPERLINK \l _Toc209878500 实验十三 光纤传感的温度测量实验 PAGEREF _Toc209878500 \h 46 一、 仪器概况 CSY－10L 激光多功能光电测试系统实验仪（Laser Universal Opto-Eletro Testing Systems）是在系列传感器实验系统的基础上发展的新型光电测试实验系统，用于仪器科学、测试计量、自动控制以及物理等课程教学。其特点是实验内容新颖，技术先进，功能多样。包括激光干涉、散斑、衍射、光电、共焦、光纤、纳米、图像等多种先进测试技术，对学习者了解和掌握现代光学测试技术中的一些主要原理及方法建立基础，达到实验者今后应用中举一反三的目的。 随着近代工业和现代科学技术的发展，高精度、非接触、高效率、自动化是测试技术发展的方向，而传统的光学及光电测试技术已不适应上述要求，在精密自动测试技术中必须注入新的活力。20 世纪80 年代以来激光和计算机技术结合为近代光学及光电测试技术开辟了新途径，这就是现代光学测试技术。CSY－10L 是为演示近代光学测试技术而设计的一套多功能光电实验教学仪器，很好的体现了近代光学测试技术中的非接触性、高灵敏性、三维性及实时性。 本实验系统主要适合于测试计量技术专业、光学专业、仪器科学相关专业、自动化专业、物理专业以及大学物理等的基础课程教学实验使用。由于复用光学平台的功能多，技术先进，也可以为前期科研，本科生毕业设计，研究生论文的试验服务。 二、 仪器原理 2．1 多功能光学系统 图1 实验仪光学系统 1－激光器 2,17－衰减器 3,5,11－