以临界角法结合CCD影像撷取技术作表面形貌量测之研究.PDF

技術學刊 第二十五卷 第三期 民國九十九年 245 Journal of Technology, Vol. 25, No. 3, pp. 245-249 (2010) 以臨界角法結合 CCD 影像擷取技術 作表面形貌量測之研究 邱銘宏 林振勤 詹遠生 國立虎尾科技大學光電工程系 摘 要 本論文提出以臨界角強度法結合 CCD 影像擷取技術來量測透明待測物之 表面輪廓，此乃由光強度直接轉換成高度之方法，巧妙地做成表面輪廓圖。當 一個擴束光經過透明待測物時，由於待測物的表面高度變化，造成穿透光有些 微角度偏移，以致於入射至平行四邊形稜鏡時，偏離了原先靠近臨界角的角 度，造成靈敏的光強度增減，再以 CCD 擷取光強影像。由於待測物的表面高 度變化與穿透光經稜鏡之反射率成正比，故可利用反射率變化來描繪待測物的 表面形貌與輪廓。本實驗最大優點為不需掃描待測物，即可獲得大範圍的待測 物表面形貌。此外，也具有架構簡單、組裝容易、高靈敏度、高解析度等優點。 關鍵詞：三維表面量測，角度偏向，反射率，臨界角原理。 THREE DIMENSIONAL PROFILE MEASUREMENT BASED ON THE CRITICAL ANGLE METHOD AND THE USE OF A CCD CAMERA Ming-Hung Chiu Zhen-Chin Lin Yuan-Sheng Chan Department of Electro-Optical Engineering National Formosa University Yunlin, Taiwan 632, R.O.C. Key Words: three-dimension profile measurement, angular deviation, reflectance, critical angle theorem. ABSTRACT This paper proposes a new method for the three-dimensional profile measurement of a transparent specimen. Based on geometrical optics, the deviation angle is proportional to the apex angle of a test plate. Measuring the reflectivity of a parallelogram prism used is to detect the deviation angle when the beam is incident at the critic