5-2压电式传感器.pptVIP

5.3 压电式传感器的测量电路 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。 串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 5.3.2 压电传感器的等效电路 当压电晶体承受应力作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。故可把压电传感器看成一个电荷源与一个电容并联的电荷发生器，其电容量为： 5.3.3 压电式传感器的测量电路 5.3.1 压电晶片的连接方式 在实际应用中，由于单片的输出电荷很小，因此，组成压电式传感器的晶片不止一片，常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。粘结的方法有两种，即并联和串联。 (a)并联 + + － － － + (b)串联 + － － + 图5-14 压电元件连接方式 (a) 相同极性端粘结； (b) 不同极性端粘结 (a) q Ca 当两极板聚集异性电荷时，板间就呈现出一定的电压，其大小为 因此，压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca的 串联电路，如图 (b)。 Ua Ca (b) 实际使用时，压电传感器通过导线与测量仪器相连接，因此还需考虑连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci，以及压电元件的绝缘电阻Ra对电路的影响。 图5-15 压电传感器的实际等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 由于压电式传感器的输出电信号很微弱，通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中，测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。） 前置放大器的作用：一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式：一是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比；另一种是用带电容反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 图 5-16 压电传感器接放大器的等效电路  （a） 放大器电路; （b） 等效电路 1. 电压放大器（阻抗变换器） 在图5-16（b）中，电阻R=RaRi/(Ra+Ri),电容C=Cc+Ci，而ua=q/Ca，若压电元件受正弦力f=Fm sinωt的作用，则其电压为 （5-20） 式中： Um——压电元件输出电压幅值， Um=dFm/Ca；  d——压电系数。 可得放大器输入端电压Ui： . Ui的幅值Uim为： . 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，那么理想情况下输入电压幅值Uim为 式（5-10）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在ω/ω03时，就可以认为Uim与ω无关，ω0表示测量电路时间常数之倒数，即 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时，前置放大器的输出电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力的测量。 当ω(Ca+Cc+Ci)R1 时，放大器输入电压Uim如式（5-10）所示，式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差。 2. 电荷放大器 图5-10 电荷放大器等效电路 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。由于运算放大器输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。 式中 ： uo——放大器输出电压；  ui ——放大器输入电压。 由运算放大器基本特性， 可求出电荷放大器的输出电压 通常A=104~108，因此,当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时，上式可表示为 （5-14） 可见，电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比。 因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 为了得到必要的测量精度，要求反馈电容Cf的温度和时间稳定性都很好，在实际电路中，考虑到不同的量程等因素，Cf的容量做成可选择的，范围一般为100~104pF。 压电式传感器在测量低压力时线性度不