压电式传感器-河南工业大学.PPTVIP

2002/12总结 第6章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 6.1 压电效应 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 6.1 压电效应 6.1 压电效应 图6-1 压电转换元件受力变形的几种基本形式 图6-2 石英晶体的外形和晶轴 图6-3 石英晶体压电效应示意图 图6-4 石英晶体受力方向与电荷极性的关系 图6-5 压电陶瓷的极化过程和压电原理图 图6-6 聚偏氟乙烯压电效应 图6-7 剪切力的作用方向 6.2 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下几个方面： ①转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ②机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 6.3 等效电路 压电式传感器对被测量的变化是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于一个电荷源。 而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： （6-10） 6.4 测量电路 根据压电元件的工作原理及上节所述两种等效电路，与压电元件配套的测量电路的前置放大器也有两种形式： 电压放大器：其输出电压与输入电压(压电元件的输出电压)成正比。 电荷放大器：其输出电压与输入电荷成正比。 6.4 测量电路 6.4.1电压放大器 电压放大器的作用是将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出，并将微弱的电压信号进行适当放大．因此也把这种测量电路称为阻抗变换器。图6-9是电压放大器的简化电路图。 6.4 测量电路 6.4.2电荷放大器 由于电压放大器使所配接的压电式传感器的电压灵敏度将随电缆分布电容及传感器自身电容的变化而变化，而且电缆的更换得引起重新标定的麻烦，为此又发展了便于远距离测量的电荷放大器，目前它巳被公认是一种较好的冲击测量放大器。 6.4 测量电路 图6-9 电压放大器的简化电路图 图6-10 电压幅值比和相角频率比的关系曲线 图6-11 电荷放大器等效电路 图6-12 电荷放大器原理框图 6.5 压电式传感器的应用举例 压电元件是一种典型的力敏感元件。可用来测量最终能转换为力的多种物理量。 在检测技术中，常用来测量力和加速度。 图6-13 压电式单向测力传感器 图6-14 压电式压力传感器 6.5 压电式传感器的应用举例 6.5.1 压电式测力传感器 6.5.2 压电式加速度传感器 图6-15 消除振动加速度影响的压电式压力传感器结构 图6-16 压电式加速度传感器结构原理图 6.6影响压电式传感器精度的因素分析 6.6.1非线性 压电传感器的幅值线性度是指被测物理量(如力、压力、加速度等)的增加，其灵敏度的变化程度。 6.6.2横向灵敏度 压电加速度传感器的横向灵敏度是指当加速度传感器感受到与其主轴向(轴向灵敏度方向)垂直的单位加速度振动时的灵敏度，一般用它与主轴向灵敏度的百分比来表示，称为横向灵敏度比。 6.6影响压电式传感器精度的因素分析 6.6.3环境温度的影响 环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数的影响都很大，它将使传感器灵敏度发生变化，压电材料不同，温度影响的程度也不同。当温度低于400℃时，其压电常数和介电常数都很稳定。 6.6.4湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能的影响也很大。如果传感器长期在高湿度环境下工作，其绝缘电阻将会减小，低频响应变坏。 6.6影响压电式传感器精度的因素分析 6.6.5电缆噪声 为了减小这种噪声。可使用特制的低噪