PIMag精密线性平台-PIFrance.PDF

PIMag精密线性平台 磁力直接驱动器带来高速度和高精度 V-551  行程达230 毫米  速度高达0.5米/秒  绝对编码器分辨率为1纳米  带PIOne线性编码器实现最高精度：最 小位移为0.5纳米  高导向精度  设计紧凑，宽度为160毫米 参考级线性平台 由于平滑运行的精密线性导向装置采用交叉