摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真-激光与红外.PDFVIP

第４５卷　 第７期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．７ 　 ２０１５年７月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｌｙ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０７０８２１０４ ·光电技术与系统· 摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真 １ ２ 谢运涛 ，张玉钧 （１电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室，安徽 合肥２３００３７； ２中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽 合肥２３００３１） 摘　要：为实现摆臂式干涉仪光程差（ＯＰＤ）随时间的线性变化，需要摆臂式干涉仪作变速摆 动。为此，在分析摆臂式干涉仪光程扫描系统组成的基础上，对干涉仪的电气特性进行了研 究，在ｓａｂｅｒ软件中建立了摆臂式干涉仪光程差扫描模型。为验证模型的正确性，将ＰＩＤ算法 应用到摆臂干涉仪模型仿真中，研究了干涉仪系统的单位阶跃响应，确定了摆臂式干涉仪ＰＩＤ 控制算法的各项参数。仿真结果表明，该模型可用于模拟摆臂式干涉仪光程差扫描过程，能够 为干涉仪扫描控制系统的设计提供参考。 关键词：仿真模型；摆臂式干涉仪；ＰＩＤ算法；ｓａｂｅｒ软件 中图分类号：ＴＰ３９１９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０７．０１９ ＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｎｄｉｔｓｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ １ ２ ＸＩＥＹｕｎｔａｏ，ＺＨＡＮＧＹｕｊｕｎ （１ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＰｏｗｅｒＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｈｅｆｅｉ２３００３７，Ｃｈｉｎａ； ２ＡｎｈｕｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｈｅｆｅｉ２３００３１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｍａｋｅｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｔｏｃｈａｎｇｅｌｉｎｅａｒｌｙｗｉｔｈｔｉｍｅ，ｔｈｅ ｓｗｉｎｇｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｍｕｓｔｂｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｌｙｖａｒｉｅｄＢａｓｅｄｏｎｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈ ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ（ＯＰＤ）ｓｃａｎｎｉｎｇｓｙｓｔｅｍｗｉｔｈｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｉｓｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ ｔｅｒａｒｅｓｔｕｄｉｅｄ，ａｎｄｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｉｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｂｙｔｈｅｓａｂｅｒｓｏｆｔｗａｒｅＴｏ ｖｅｒｉｆｙｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌ，ｔｈｅＰＩＤａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓｕｓｅｄｆｏｒｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｔｈｉｓｍｏｄｅｌ，ａｎｄｔｈｅＰＩＤｐａ ｒａｍｅｔｅｒｓａｒｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂｙｓｔｕｄｙｉｎｇｔｈｅｕｎｉｔｓｔｅｐｒｅｓｐｏｎｓｅｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｉｓ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌｗｏｒｋｓｗｅｌｌｉｎｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇ，ａｎｄｉｔｃａｎ