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六、化学管路二次配管施工规范 工程范围 材料及施工标准 施工时间 施工规范 PVC配管 PFA管施工要领 SUS配管施工要领 信号测试 一 工程范围： 化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。 二 材料及施工标准： 管材： A.Model I 化学品种类：溶剂类(IPA、EBR) 管路材质 ：SUS316L BA管。 配管方式 ：单层管。 弯管方式 ：Elbow 管 径 ：3/4” 接管方式 ：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。 B.Model II 化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH 管路材质 ：PFA管 / 40A C-PVC管。 配管方式 ：双层管。 弯管方式 ：直接弯管(不用Elbow)。 管 径 ：内管为1” AND 3/4”PFA管。外管为40A C-PVC管。 接管方式 ： 内管：阀箱出口端：扩管式。 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。 外管：阀箱出口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。 机台入口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。 C.Model III 化学品种类：Corrosiv