固体膜液体膜基底层合结构变形研究-固体力学专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 在固体膜／液体膜／基底层合结构中，若固体薄膜具有压的本征应力，固体 薄膜往往会发生褶皱或进而开裂破坏。本文讨论了该结构的稳定情况。假设了 两种不同的固体薄膜变形单元，并通过能量的方法研究表明这两种不同的变形 模式单元能同时存在，并通过不同的排列组合成复杂的图纹。以变形模式为基 础，给出了固体薄膜中微缺陷扩展成裂纹的准则，并预测了产生开裂破坏的时 问。 在微小结构中界面的不平整是不能忽略的，本文讨论了该结构中液体膜／基 底问界面不平整对结构稳定性的影响，主要是对固体膜受压应力褶皱平衡的影 响。采用摄动法考察了液体层较薄的情况下液体膜／基底之间界面不平整对固体 薄膜／液体膜／基底层状结构能量及平衡稳定状态的影响。用一扰动函数模拟液 体膜／基底间界面的不平整，分别采用正弦函数模型和分形中自仿射和峰状界面 模型来模拟液体膜／基底之间的不平整界面。计算固体膜受力变形前后结构能量 的变化，得出在液体膜／基底界面平整情况下的稳定状态在该界面不平整状态下 可能成为不稳定状念，反之在液体膜／基底界面平整情况下的不稳定状态在该界 面不平整状态下可能成为稳定状态；扰动函数的振幅越大，对结构平衡前后自 由能的变化影响越大，进而对结构稳定性的影响越大。对于具有自仿射粗糙的 界面，随着分形维的增大，临界波数由于界面粗糙而产生的变化越大，分形维 增犬到一定值时，其影响为一定值。对于具有峰状粗糙的界面，随着平均峰间 距的增大临界波数由于界而粗糙而产生的变化越小：平均蜂间距的增大到一定 值时，其影响为一定值。 为了更直观地讨论界面不平整的情况，本文采用有限元方法，对结构的稳 定性问题进行了讨论。采用正弦函数模型来模拟不平整的粘滞层／基底界面，对 结构进行屈曲分析，得到各模态的失稳因子进而得到失稳力。比较可得不平整 界面情况下，结构的平衡状态与假设浚界面为理想平整面所得的结果有很大不 吲，在结构尺寸较小的情况下不可假设该界面为理想平整来考察该结构的稳定 性。同时发现，界面的不·严整对结构的等效Von Mi ses应力的分布和数值大小、 各模念的变形、结构的失稳外力都有较大的影响。 关键词：薄膜，稳定性，能量，不平整界面，分形 AbstractABSTRACT Abstract ABSTRACT For solid film／liquid film／substrate structLlres．when the solid film iS under compression，it will winkle and form cracks．To explain the crack phenomenon， first，the deformation of thin solid film in solid film／liquid layer／rigid substrate structure with compressed internal stresses in the thin solid film is discussed． Therefore，two wrinkling pattern of the solid film are set up，the energy for the two patterns are obtained with elasticity theory respectively．From point ofenergy， it is found that the two different wrinkling pattern Can be exist in a solid film at the same time，thus，the wrinkling pattern or the crack appearance Can be explained by combining of these wrinkling patterns，finally，the criterion for crack initiation in the solid film is given by using the first classical strength theory． In micro laminate structures，the nonplanar of the interfaces can not be ignored．The influence of the interface between the liquid film and the substrate on the deformation was discussed．As the interfaces between solid and liquid are nonp