微型无阀泵参数化结构设计及测试.PDF

维普资讯 第 9卷第 2期 工 程 设 计 Vo1．9．No．2 2002年 6月 ENGINEERING DESIGN Jun．2002 微型无阀泵参数化结构设计及测试 谢海波 ，傅 新 ，杨华勇 (浙江大学 流体传动及控制 国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘 要 ：从理论计算和试验两方面研究了用于微流控化学分析芯片的微型无 阀泵流动特性 ，初步建立 了微型无 阀 泵流道结构 的数学模型，重点讨论 了结构参数 的选取原则及相应 的流动阻尼系数 的计算方法．通过试验验证 了数 值计算 的可靠性 ，为微型无 阀泵参数化设计及优化提供 了理论依据及经验 曲线． 关键词 ：微 型无 阀泵 ；流动阻尼 ；微机 电技术 中图分类号 ：TH39；TH137 文献标识码 ：A 文章编号：1006—754X(2002)02—0083—03 Parametricdesignofstructureand performance testofm icrovalvelesspump XIE Hai-bo，FU Xin，YANG Hua—yong (TheStateKeyLabofFluidPowerTransmissionandControl，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：The structure and the operating principle of micro valveless pump are investigated theoreticallyandbyexperiments．Themathematicalmodelofpressureand flow ratewithin the micronozzle／diffuserisestablishedtoanalyzetheeffectsofnozzle／diffuserparametersonoutput flow rate ofthemicro valvelesspump． The effectsof the structuralparameter and driving condition on theoperation performanceofthepumparediscussed indetails．Thework provides thereforeusefulreferenceforstructureoptimization aswellasthedrivingdiaphragm selectionof m icro valvelesspump． Keywords：microvalvelesspump；flow resistance；microelectromechanicalsystem (M EM S) 随着微机 电技术 (microelectromechanical 工工艺而较具应用潜力 ，同时 ，微型无 阀泵具有平面 system，MEMS)的发展 ，微流体机械系统 的加工工 加工特性及结构参数化设计 的优点 ，因此成为集成 艺得 到了极大 的改进与完善 ，应用范围也 由此扩展 化设计 的首选 ，其流动特性可以通过结构化参数计 迅速，其 中微量化学检测与生物医学方面的应用前 算而预测 ，易于形成系列化产品． 景最为广阔．由于微流体机械系统具有体积小、成本 1 结构与工作原理 低、集成化程度高、样 品消耗量极少 、检验速度快等 特点 ，因此可以实现化学生物分析从