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9 3 Vol . 9, No . 3
2 0 0 1 6 OPTICS AN PRECISION ENGINEERING Jun . , 2 0 0 1
1004924X(2001
1 1 2 1
许 谊 , 徐毓娴, 惠 梅 , 蔡 昕
( 1. 清华大学精密仪器系, 北京 100084; 2. 中国科学院西安光机所, 陕西 西安 710068)
:, Nomarski
, ,
: 干涉显微镜; 相衬显微镜; 形貌测量术
:TH742 :A
Nomarski , 1/4
1 引 言 ,CC
Nomarski ,
1955Nomarski ,
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, , Fig. 1 ifferential interference contrast microscope system
2 测量原理
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