硅微机械陀螺信号检测与性能研究-微电子与固体电子学专业论文.docxVIP

^b翻zactABSTRACT ^b翻zact ABSTRACT MEMS Gymscope is o∞of tl碡∞vcl诧seafch dir∞ti0璐in in删dal I珀Ⅳigation 辩nsor．Ttlis pap盯pre鞠nted a IIlicrom∞lliIling tcc扯船logy甜ld in忙rf知∞circuit f．or a ∞vel silic∞IIlic玲眦chincd盱m∞opc driv姐by rotating c觚诚The gyr0∞opc is a kind“gy∞∞opc w油out driv∞panI．The gym∞ope tal∞s tlⅪspin锄gIll缸rate ofa ∞taling c枷er勰幽ven folm fbr∞粥illg姗ctIl把of tl】峙gyro湖pe，and me gyroscope c孤measure the spin mte of tlle carricr alld柚gul缸veloc时p叩endicular spin缸is．Ba∞d on coordinate仃alIsfo船ing柚d nmment锄lyzing，me dynaIIIic mode w笛 constitIlted甜ld opc船tion pfinciple was analyzed． According to perfbm姗ce taI．gctgcnlcn鹏char∞tc墙of the gyroscope aIld bulk micmmacllining speciali劬ttle pI饥跫豁ir唱st印for f．abricating s∞sirIg part粕d packaging tecllIlology we∞stIldied．This dcvicc u∞s capacito稻to∞n∞锄gul盯m把．1he outpm signal of tlle∞nsing strI舶ctIll．e is、Ⅳcak．Based on i乜outpm char；lcteristics，tlle sigIlal dctect circuit、惴desi掣圮d’wIIich can detcct 10～pF∞pacitance Variety si驴lal．n圮 experiment resuIts shown t11at tlle circuit can∽hieVe tlle performance target．Finally， me test equipments锄d metllods werc im删uced．The tcst阳sults sho啪mat tllis gyfoscope accord wim tlle∞quest of national stalldard and the gyroscope c强be u∞d to con自rol rotating ca仃ier’s anitude． Key Words：MEMS，Rota“ng ca而erSignal Detect Cjrcllil，Shock Resist卸cc Ⅱ 学位论文版权使用授权书本人完全了解北京机械工业学院收集、保存、使用学位论文的规 学位论文版权使用授权书 本人完全了解北京机械工业学院收集、保存、使用学位论文的规 定，同意如下各项内容：按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子 版本；学校有权保存学位论文的印刷本和电子版，并采用影印、缩印、 扫描、数字化或其它手段保存论文；学校有权提供目录检索以及提供 本学位论文全文或者部分的阅览服务；学校有权按有关规定向国家有 关部门或者机构送交论文的复印件和电子版：在不以赢利为目的的前 提下。学校可以适当复制论文的部分或全部内容用于学术活动。 学位论文作者签名： 明诱 ≥o夕年3月，z日 经指导教师同意，本学位论文属于保密，在 年解密后适用 本授权书。 指导教师签名： 学位论文作者签名： 年 月 日 年 月 日 硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下。进行 硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下。进行 研究工作所取得的成果．除文中已经注明引用的内容外，本学位论文 的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的 作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集 体，均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任 由本人承担。 躲 峭／毛 多。7年3月f z日 第2章工作原理分析第1章绪论 第2章工作原理分析 第1章绪论 1．1概述 惯性技术是以牛顿惯性定律为基础、用以实现运动物体姿态和航迹控制的一 项工程技术．惯性元件如陀螺仪和加速度计，是各类惯性系统中的核心部件