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第 5 卷 第 6 期
2 0 1 4 年 12 月
有色金属科学与工程
Nonferrous Metals Science and Engineering
Vol.5,No.6 Dec. 2014
文章编号:1674-9669(2014)06-0061-06
不同过渡层对 Cr
不同过渡层对 CrCN 涂层性能的影响
叶育伟 1,2a,2b, 陈颢 1, 王永欣 2b, 李金龙 2a
(1.江西理工大学材料科学与工程学院,江西 赣州 341000;
2.中国科学院. a.宁波材料技术与工程研究所;b.海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201)
摘 要:利用多弧离子镀技术,以乙炔和氮气为反应气体,在 316 L 不锈钢和单晶硅基体上设计 3 种不 同的过渡层(无过渡层,Cr,CrN)制备 CrCN 涂层,通过 X 射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压 痕仪、CSM 划痕测试仪和 UMT-3 多功能摩擦磨损试验机等对 3 种涂层的微观结构、力学性能和摩擦 学性能进行表征. 结果表明: CrCN,Cr/CrCN 及 CrN/CrCN 涂层的平均表面粗糙度分别为 77.3 nm, 74.5 nm 及 68.1 nm, 整体表现出递减的趋势.CrCN,Cr/CrCN 及 CrN/CrCN 涂层的结合力和硬度分别 为 20.5 N, 43 N, 61 N 及 17.4 GPa, 21.4 GPa, 24.1 GPa.较之于单层 CrCN 涂层, CrN/CrCN 复合涂 层的硬度及结合力提高最为显著,并对 CrCN 涂层起到强有力的支撑作用,从而在大气、去离子水、海 水环境下表现出较低的摩擦系数及磨损率.
关键词: CrCN 薄膜;过渡层;结合力;硬度;摩擦学性能
中图分类号:TH117.2;TG142.7 文献标志码:A
Effects of different interlayers on CrCN coatings properties
YE Yuwei1.2a,2b,CHEN Hao1, WANG Yongxin2b,LI Jinlong2a
(1. School of Materials Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000, China; 2a. Ningbo Institute of Material Technology and Engineering; 2b.Key Laboratory of Marine New Materials and Related Technology,
Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protection Technology, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China)
Abstract:CrCN coating is deposited on 316 L stainless steel and single crystal silicon by Multi -Arc ion plating technique with ethyne and nitrogen as reactant gas. Microstructures, mechanical performance and tribological properties are systematically investigated by XRD, SEM, nano-indentation, CSM starch tester and Ultra- functional attrition testing machine. The results show that the average roughness of CrCN, Cr/CrCN and CrN/CrCN coating are 77.3 nm, 74.5 nm and 68.1 nm, respectively. The nanohardness and critical load of CrCN, Cr/CrCN and CrN/CrCN coating are 20.5 N, 43 N, 61 N and 17.4 GPa, 21.4 GPa, 24.1 GPa, respectively. Compared with CrCN coating, the nanohardness and critical
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