应用于TOF三维测距的CMOS图像传感器研究.docxVIP

代 号 分类号 10701 TN4 学 号 1111122924 密 级 公开 U D C 编 号 题（ 中 、 英文 ） 目 应用于 TOF 三维测距的 CMOS 图像传感器研究 The study of CMOS Image Sensor used for 3D TOF measurement 作 者 姓 名 底杉 学校指导教师姓名职称 包军林 副教授 工 程 领 域 软件工程 企业指导教师姓名职称 吴南健 研究员 论 文 类 型 实用技术基础 提交论文日 期二〇一四年三月 西安电子科技大学 学位论文创新性声明 秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下 进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内 容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技 大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任 何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切的法律责任。 本人签名： 日期 西安电子科技大学 关于论文使用授权的说明 本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读 学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件， 允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其 它复制手段保存论文。同时本人保证，毕业后结合学位论文研究课题再攥写的文章一律署名 单位为西安电子科技大学。 (保密的论文在解密后遵守此规定) 本人签名： 日期 导师签名： 日期 摘要 摘要 飞行时间（Time of Flight, TOF）三维测距仪器具有体积小、工作速度快等特 点，广泛地应用于人机交互、机器视觉等多个领域，有很高的研究价值，而图像 传感器是 TOF 三维测距仪器的关键组成部分。论文针对应用于 TOF 三维测距的 CMOS 图像传感器，设计了像素结构，优化了像素的工艺条件，并在此基础上设 计了一款 CMOS 图像传感器，论文的主要工作如下： （1）针对 TOF 三维测距方法的特性，对比分析了 CCD 和 CMOS 两种图像传 感器的特点，确定了用于 TOF 三维测距的 CMOS 图像传感器的设计要求。 （2）在深入分析 TOF 三维测距原理的基础上，给出了通过测量调制信号四个 相位信息的 TOF 方法，实现在图像传感器上的三维测距。 （3）为了减小了电荷的横向传输距离，本文设计了像素结构，采用将像素分 成两部分的方法。并使用 TCAD 优化了 N 掺杂的注入能量和注入剂量，提高像素 的电荷传输速度，最后基于 0.18 ?m 工艺设计了一款 256??256 的 CMOS 图像传感 器。 （4）搭建了芯片测试系统，并分析了噪声和失调对分辨率的影响。 关键词：飞行时间 三维测距 CMOS 图像传感器 传输速度 摘要 Abstract Abstract Because of its high research value, 3D Time of Flight (TOF) camera with high operation speed and small scale is widely used in many fields, such as human-computer interaction, machine vision and so on. Image sensor is the key component of 3D TOF camera. Aiming at the CMOS image sensor used in 3D measurement, the structure of pixel is redesigned and the process parameters are optimized to enhance the transfer speed. Based on the pixel, a CIS chip is designed in this thesis. The main work of the thesis is as follows: Aiming at the characteristics of 3D TOF ranging method , the characteristics of both CCD and CMOS image sensors are analyzed comparatively. And the design requirements of the