浅谈36对棒多晶硅还原炉电源系统及常见故障分析.docx

浅谈 36 对棒多晶硅还原炉电源系统及常见故障分析（新疆大全新能源有限公司，石河子市， 浅谈 36 对棒多晶硅还原炉电源系统 及常见故障分析 （新疆大全新能源有限公司，石河子市，832000） 程智勇 摘要 多晶硅还原炉电源系统是多晶硅生产环节中及其重要的的电气设备，对于保证生产的顺利和产 品的工艺要求，起到了至关重要的作用，本文结合我公司的实际情况，重点介绍一下还原炉的电源设备情况 和常见的故障分析。 关键词 多晶硅，变压器，高压启动系统，调功柜系统； 中图分类号：Q743+.4 文献标识码：B 组，每组由 4 对硅芯串联组成纯电阻电路，因为硅在 常温下是不导电的，只有在高压、高温的情况下才 会导电，交流调压器主要是由一台升压变压器组 成，输入电压为交流 380V，输出一般有 10KV、8KV、 6.3KV、2KV 等电压等级（见图），每个档位的开通与 断开均是由晶闸管控制，当其中一个档位的晶闸管 导通后，其它档位的晶闸管必定是断开的，因此在 正常情况下，是不会存在两种电压同时开通所产生 短路环流的情形；一般在 6.3KV 的电压下，硅芯会被 击穿导电，然后在这个电压等级下，闭合高压断路 器使每一组硅芯导电，然后随着硅芯的发热，电阻 阻值会渐渐下降，电压也会随之下降，通常情况下 第一组硅芯被击穿导电过程比较长一些，当第一组 硅芯导电后，它会成为一组发热体，使炉体内部温 度升高，这样，后续的硅芯就越来越容易被击穿导 电，最终使所有的硅芯全部导电，达到产生化学反 应的工艺要求。 文章编号：1008-0899（2014）06-0052-02 目前，多晶硅的生产技术主要有改良西门子 法、硫化床法和硅烷法，其中改良西门子法以其技 术的成熟性、产量的规模化等原因，仍然是国内最 主流的生产工艺方法，改良西门子法是利用高纯度 的氢气和三氯氢硅在 1 050℃左右的高温下进行化 学反应，使还原出的高纯度硅沉积在硅芯上，渐渐 长 粗 形 成 硅 棒 的 过 程 ，其 主 要 化 学 方 程 式 为 ： SiHcl3+H2→Si+Hcl，这里，硅芯既是发热体，又是载 体；硅棒一般生长到直径在 150～200mm 时，即可达 到成品要求。因硅棒在生长过程中对电压、电流的 调节范围较大，因此对电气设备的要求较高。 1 36 对棒还原炉电源设备的主要组成情况 目前，国内较大多晶硅企业的还原炉主要有 24 对棒、36 对棒和 48 对棒，我公司主要有 24 对棒和 36 对棒两种还原炉，这里主要介绍一下 36 对棒还原炉 的电源系统，36 对棒还原炉的电源系统主要由多档 位的变压器、高压启动开关柜、交流调压器、调功柜 电源系统和控制系统组成。 2 多档位变压器 生 产 中 使 用 的 多 档 位 变 压 器 额 定 容 量 为 9 900KVA 的干式变压器，能够输出 5 种电压等级，分 别为 2500V、1400V、650V、400V、320V。 3 高压启动系统 高压启动系统主要是由高压开关柜、交流调压 器构成，该部分设备主要是为了使硅芯导电发热从 而 达 到 产 生 化 学 反 应 的 目 的 ；36 对 硅 芯 被 分 为 9 - 52 - 图 4 调功柜电气系统 硅芯被全部导电后，随着炉体内的氢气和三氯 氢硅流量的增加，热量也会被大量带走，这时要保 证密闭容器中始终保持在 1 050℃~1 080℃温度范 围内，原来的高压启动系统只能提供较小的电流， 石河子科技第 3 期 2014 年 06 月已不 石河子科技 第 3 期 2014 年 06 月 已不能够满足工艺使用要求，因此必须切换到能提 供大电流的调功柜电气系统中，由多档位变压器提 供电源，因此，每一回路的硅芯将被切换至调功柜 系统来供电，当全部切换完毕后，高压启动系统则 被退出使用，调功柜系统进入工作状态，调功柜的 每一档位的电压等级输出仍然是靠晶闸管的导通 与闭合来实现，调功柜的主回路是由两只晶闸管反 并联的交流调压结构，晶闸管起到开关的作用，随 着硅棒的生长变粗，硅棒表面积也来越大，还原反 应也会越来越剧烈，它所使用的电流也越来越大， 根据硅棒的电阻阻值的变化，系统会逐步切换到较 低的电压等级，以便得到更大的电流；在使用大电 流的同时，纯电阻电路会随之而来产生大量电源谐 波，干扰成分加大，这样会造成变压器使用效率降 低，设备容易发热并且损坏，在解决该问题时，调功 柜系统在设计上进行优化设计，采用两档叠层技 术，也就是两档不同电压等级的电源都在导通使 用，电源波形互相抵消互补的原理进行谐波治理和 无功补偿，利用自身的控制性能来提高功率因数。 5 常见故障分析 5.1 多档位变压器铁芯多点接地 产生该故障的主要原因为：1）变压器在运输搬 运过程中，造成铁芯夹具的穿芯螺杆与绝