基于周期结构模拟平台的设计-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 DESIGN OF SIMULATION PLATFORM FOR PERIODIC STRUCTURES A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Electronics and Communication Engineering Author: Zhang Neng Advisor: Yang Huajun School : School of Physical Electronics 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 摘 要 在光栅、光子晶体等微周期结构的设计和分析中，光栅区域中衍射场的模拟 具有非常重要的意义，它是实现各种微周期结构分析和测试的基础，因此在集成 电路领域的应用范围也越来越广泛。严格耦合波分析（Rigorous Coupled-wave Analysis, RCWA）算法也叫做傅里叶模态法（Fourier Modal Method, FMM），它 通过在光栅区域严格求解麦克斯韦方程，考虑波的偏振特性，并利用介质及相关 场的周期性，对周期结构的光学元件及其周围的电磁场分布进行分析的一种方法。 由于该方法在理论上是完全精确的（只要保留足够的衍射阶次），只是会在数值 的处理上引入一定的误差，因此精确度较高，也比较稳定，它可适用于不同坡长 范围下特征尺寸任意的衍射光学元件、光子晶体、甚至是一般晶体等周期性结构 的设计、制造、测量和分析上。 但是，在用RCWA方法对周期结构的光学元件进行模拟计算的过程中，由于 其中涉及到大量的矩阵求解，因此计算速度较为缓慢。特别是对多层结构（或是 单层但需要划分成多个小层）的光学元件进行分析计算时，RCWA方法的计算效 率问题尤为严重，导致在此算法基础上建立起来的监控系统实时性较差，而微扰 法的引入，则可以较好地改善这一不足，提高整个算法在多层求解过程中的运算 速度。由于在传统的RCWA算法中，任意非矩形结构的光栅都可近似为一个堆叠 状的层状光栅，这样需要求解的本征值系统的数目就等于所划分的光栅子层数。 将微扰法（Perturbation Method, PM）中求解特征解的方法应用到RCWA算法中， 即通过计算出的已知层的特征解来推导出其它未知层的特征解，则可大大缩短 RCWA方法中求解特征解的时间，不过前提条件是这些层之间的光学和几何参数 相差都很小。本文以梯形光栅为例对该方法进行介绍和分析。 本文从实际工程应用的角度出发，研究将PM应用到RCWA方法，构建了一套 运行于Windows 平台上的模拟周期结构衍射特性的软件平台。该模拟平台简单易 用，界面友好，适用范围较广，可分别模拟均匀层、一维、二维及各种不同形状 的周期性微观结构的衍射效率，使用者只需要很方便的加载已经事先准备好的配 置文件，或是在对应的光栅类别（uniform/1D/2D）中输入合适的系统参数和光栅 几何参数，然后点击右侧相应的按钮就能得到数据结果和曲线图。此外，界面上 I 摘要 增加了部分接口（如优化输出）方便日后功能扩展。图形用户界面的设计，让使 用者可以很方便直观的观察到衍射结果。 关键词：RCWA，周期结构，微扰法，GUI，模拟平台 II ABSTRACT ABSTRACT Simulation for diffracted electromagnetic fields from grating or photonic crystal is of great importance in their design and analysis. It lays the foundations for the study and analysis about various periodic structur