纳米制造基础研究的相关进展.docx

纳米制造基础研究的相关进展◆ 房丰洲天津大学精密测试技术及仪器国家重 纳米制造基础研究的相关进展 ◆ 房丰洲 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津微纳制造工程技术中心，天津 300072 摘 要 纳米制造是多学科的新型交叉研究 量级，二是特征尺寸达到纳米尺度。中 国 国 家 自 然 科学基金委员会定义的纳米制造包 括 纳 米 结 构 制 造、纳米精度制造和跨尺度制造［2］。 一个国家的制造水平是其综合国力的重要标志 之一，纳米制 造 在 过 去 的 20 多 年 里，依 靠 各 国 政 府 的政策支持和 研 发 投 入，已经在多个行业为社会创 造了巨大经济效益。国家自然科学基金委员会已实 施“纳米制造的基础研究”的重 大 研 究 计 划，其 目 标 是瞄准学科发展前沿，面向国家发展的重大战略需 求，针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造 中的基础科学问题，探索制造过程由宏观进入微观 时能量、运动 与 物 质 结 构和性能间的作用机理与转 换规律，建立纳米制造理论基础及工艺与装备原理。 并于 2009 年 1 月 21 日发布了 2009 年度项目指南， 标志着该重大研究计划的正式展开，并拟在 6—8 年 时间内，资助 1． 5 亿元左右，用于开展纳米制造及其 相关领域的基础研究［3］。美国政府也高度重视纳米 技术的 研 究 与 开 发，在 2001 财 年 之 前，美 国 纳 米 技 术基 础方面的研究主要由美国 国家科学基金会 ( NSF) 投入，之 后 主 要 由 NSF 下 属 的 国 家 纳 米 技 术 计划( NNI) 支 持 研 发 投 入［4］。NSF 对纳米技术的支 持催生了大量的专利、科学论文、各种类型的技术探 索，对新技术 的 发 明 和 对纳米技术各子领域的发展 起到重要作用。NNI 在 2011—2014 年对纳米技术的 支持力度 分 别 达 到 了 48、46、42、43 亿 美 元，以 支 撑 纳米技术的发展［5，6］。 1． 纳米精度制造 在过去的几十年里，制造过程中材料去除 量 从 微米，到亚微米，再到纳米量级。纳米精度制造主要 包括纳米切削、纳米磨削、纳米抛光等加工形式。纳 米切削作为纳 米 精 度 加工最主要的技术之一，以 超 精密数控车床为基础，采用天然金刚石刀具，在对加 工环境精确控 制 的 条 件 下，加工出纳米量级精度器 件的方法。美 国 劳 伦 斯 · 利 弗 莫 尔 ( LLNL) 实 验 室 1984 年研制成 功 的 LODTM-3 超 精 密金刚石车床可 加工直径达 2100mm、重 4500Kg 的工件，加工精度可 达 25nm，表面 粗 糙 度 Ｒa 达 7． 6nm。 随 着 慢 刀 饲 服 领域，对其基础研究的深入展开可为前沿制 造技术的进步提供有力支撑。在过去的 20 多 年里，基于纳米制造的探索已展示出宽广的 发展 前 景，并将在多个行业为社会带来巨大 的经 济 效 益。 本文在简要介 绍 纳 米 制 造 背 景、意义及应用的同时，着重描述国内外在纳 米制造基础领域的研究现状，以 及 天 津 大 学 微纳制造实验室( MNMT) 近年来所取得的研 究进展，并对纳米制造基础研究进行展望。 关键词: 纳 米 精 度 研究 中图分类号:TB383． 1 文献标识码:A 文章编号:1009-2412( 2014) 05-0009-07 DOI: 10. 3969 / j． issn． 1009-2412. 2014. 05． 002 纳 米 尺 度 纳 米 制 造 基 础 一、背景及现状 1959 年，Feynman 在加州理工学院 ( California Institute of Technology) 召开的美国物理学会 上 演 讲 时首次提出了纳米技术的原始思想。1974 年纳米技 术( nanotechnology) 一词由 Taniuchi 正式提出并定义 为: 在原子和分子水平实现的加工技术。美国国家 纳米技术研究院认为 Nanotechnology 的定义是满足: ( 1) 在原子、分子和大分子水平( 1—100nm) 进行的 技术研究和开发; ( 2) 制造的结构、装置和系统由于 处于纳米尺度而具有新颖的性质和 功 能; ( 3 ) 具 有 在原子尺度能够进行控制和操作的能力［1］。纳米制 造包括两种技 术 追 求，一是针对制造精度达到纳米 收稿日期: 2014-7-17 修回日期: 2014-9-28 研究 资 助: 国 家 973 计 划 ( 2011CB706700 ) ，国家自然科学基金 ( 。 本文作者: 房丰洲，教授，fzfang@ tju． edu． cn。 2