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高理光学质量体系文件
镀膜机操作及镀膜工艺指导书
受控状态及编号
文件编号
GL/WI-RD-03-25
页码
Page PAGE 1 of 30
部门
技术部
发布日期
2013年12月9日
拟制
徐 威
审核
批准
变更 履历
1
2007-05-28
文件整合
将老版文件改为新版的格式
聂旭光
2
2007-08-15
内容新增
1、增加产品镀膜前烘烤要求 Page 15
周霞
2、增加表单 Page 20
周霞
3
2007-10-09
客户审核要求
1、增加变更履历 Page 1
杨莎
2、去掉产品镀膜前烘烤要求 Page 15
周霞
3、5#镀膜机增加光栅增透 Page 15
聂旭光
4
2008-04-29
内容新增
新增镀膜应急情况处理办法 Page 7.8
冯浩
5
2008-09-09
内容新增
Page 12
冯浩
6
2009-04-13
内容变更
更新3#镀膜机作业流程 14
何健
7
2009-04-24
内容新增
新增4#镀膜机作业流程 21
何健
8
2009-05-18
客户审核要求
新增镀膜产品切换要求 Page 21
何健
9
2009-08-05
文件整合
全部更新 全文
冯浩
10
2010-01-15
内容变更
1.变更4#5#6#机台清洗周期 2变更4#工艺参数
冯浩
11
2010-04-7
内容新增
1.新增7.95um/10.8um光栅镀膜工艺 14
2.增加405nm增透工艺 page20
徐威
12
2010-7-28
内容变更
1. 变更3#镀膜机保养规范 Page 13
2.变更4#镀膜机工艺参数 22
3.变更5#镀膜机工艺参数 26
4. 变更6#镀膜机工艺参数 Page 30
徐威
袁超
13
2010-9-13
内容新增
新增《镀膜工艺卡片》 Page 18,32
叶小兵
14
2010-9-20
内容新增
新增3#,4#镀膜机烘烤温度点检要求
冯浩
15
2011-4-18
内容新增
新增镀膜工艺卡片三洋BD414蓝光偏小AR、正常AR、偏大AR
徐威
16
2011-11-21
文件整合
全部更新 全文
靖泽兵
17
2011-12-30
内容变更
部分内容调整 Page 3.4.7
靖泽兵
18
2012-2-8
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
19
2012-3-12
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
20
2012-5-21
内容新增
增加测温时机,时机为停机大于等于24小时后测温。
明确8.2.4中C条处理办法
靖泽兵
21
2012-12-26
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
22
2013-1-5
内容新增
新增阳极筒更换注意事项 Page16
徐威
23
2013-1-14
内容新增
1.新增清扫注意事项及膜料存放要求 Page3、4
2.新增下伞条件 Page 8
3.新增离子源存放要求 Page 16
4.变更设备清洗流程 Page 13、15、20、22
5.变更配件更换要求 Page 14、21
徐威
24
2013-12-9
应客户要求
增加《产品面别一览表》 30
杨莎
25
2014-4-23
内容变更
Sio2加料变更 Page 4
徐威
镀膜机操作及镀膜工艺指导书 Page PAGE 2
一、目的
为了规范镀膜作业员镀膜操作,特制定该文件。
二、适用范围
本文件适用于参与镀膜操作的全体人员。
三、设备及辅助材料
3.1 1#:昭和真空镀膜机;
3.2 2#:昭和真空镀膜机;
3.3 3#:莱宝真空镀膜机;
3.4 4#:韩一真空镀膜机;
3.5 5#:现代南光ZZS1100真空镀膜机;
3.6 6#:现代南光ZZS1100真空镀膜机;
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