4金属薄膜电阻率的测量.docVIP

.. .. 5 金属薄膜电阻率的测量 一． 实验目的 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。 二． 实验仪器 RTS-5 型双电测四探针测试仪 三． 实验原理 双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图 1） 将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行 I14V23 和 I13V24 组合测量，测量过程如下： 进行I14V23组合测量： 电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压 V23+； 电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压 V23-； 计算正反向测量平均值： V23＝(V23+＋V23-)／2； 进行I13V24组合测量： 电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 V24+； 电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压V24-； 计算正反向测量平均值： V24＝(V24+＋V24-)／2； 计算（ V23／V24）值； （以上 V23、V24均以 mV 为单位） 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ： 若1.18＜（ V23／V24）≤ 1.38 时； K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；, (1) 若1.10≤ （ V23／V24）≤ 1.18 时； K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；, (2) 计算方块电阻 R□： Ｒ□＝Ｋ· (V23／Ｉ) (单位： Ω／□)；, (3) 其中：Ｉ为测试电流，单位： mA； V23为从２、３针测得电压V23+和V23-的平均值，单位： mV； 若已知样品厚度 W，可按下式计算样品体电阻率 ρ： ρ＝R□· W· F(W/S)／10 (单位： Ω.cm)；, (4) 其中：Ｒ□为方块电阻值，单位： Ω／□； W为样片厚度，单位： mm（W ≤ 3mm）； S为探针平均间距，单位： mm； F(W/S) 为厚度修正系数； 计算百分变化率（以测试样品电阻率 ρ为例）： ρM －ρm 最大百分变化（％）＝─────× 100％, (5) ρm │ρa －ρc │ 平均百分变化（％）＝─────────× 100％, (6) ρc ２（ ρM －ρm ） 径向不均匀度Ｅ（％）＝──────────× 100％, (7) ρM ＋ρm 以上式中： ρM 、ρm 分别为测量的电阻率最大值与最小值， 单位： Ω.cm； ρc 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位： Ω.cm； ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位： Ω.cm； （若测量样品的方块电阻值 ,则将(5)、(6)、(7)式中的 ρM 、ρm 、 ρa 、ρc 分别改成Ｒ M 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒc 。其公式意义与 ρM 、 ρm 、ρa 、ρc 相似）。 四． 实验步骤 将主机、探针测试台、四探针探头、计算机连接，开启主机，启 动 RTS-5 双电测四探针软件测试系统 放置样品于测试台，操作探针台压下探针，使样品接通电流 选择对样品要进行的测试类别，及输入相关测试基本参数 执行【测量】功能 →按弹出提示窗口调节主机电位器使主机电 流显示为此值 →按【确定】按钮继续测量 执行【自动测量】 功能 →按弹出提示窗口调节主机电位器使主机电 流显示为 45.32μA→按【确定】按钮继续测量 【实时采集两次组合模式下的电压值】窗口实时显示两次组合 模式下电压的正反向、平均值； 【统计测试数据】窗口显示样品测试 点的测量数据 对测量数据进行打印、保存、生成 EXCEL 文件 响电阻率测量的各种因素及改进措施 1、环境温湿度 一般材料的电阻值会随环境温度及湿度的升高而减小。所以相比较而言，表面电阻 (率) 对环境湿度比较敏感，而体电阻 (率)则对温度较为敏感。湿度增加，表面泄漏增大，体电导 电流也会增加。 温度升高， 载流子的运动速率加快， 介质材料的吸收电流和电导电流会相应 增加，据有关资料报道，一般介质在 70C 时的电阻值仅有 20C 时的 10 ％。因此，测量材 料的电阻时，必须指明试样与环境达到平衡的温湿度。 2、测试电压及电场强度 介质材料的电阻 (率)值一般不能在很宽的电压范围内保持不变，即欧姆定律对此并不适 用。常温条件下，在较低的电压范围内， 电导电流随外加电压的增加而线性增加， 材料的电 阻值保持不变。 超过一定电压后， 由于离子化运动加剧， 电导电流的增加远比测试电压增加 的快，材料呈现的电阻值迅速降低。由此可见，外加测试电压越高，材料的电阻值越低，以 致在不同电压下测试得到的材料电阻值可能有较大的差别。 值得注意的是， 导致材料电阻值变化的决定因素是测试时的电场强度， 而不是测试电压。 对相同的测试电压， 若测试电极