混合型集成光学加速度计光学系统的研制-光学工程专业论文.docxVIP

摘 摘 要 (“混合型集成光学加速度计光学系统的研制”是国家自然科学基金资助项目 “混合型集成光学加速度地震检波器理论和实验研究”的予课题。 混合型集成光学加速度计是指运用现有的单模光纤和集成光学技术来实现对加 速度的测量，它的研究目的是应用于地震勘探，接收地震波并如实地将其传送给地 震仪器，加速度计的好坏直接影响着地震勘探质量。4 本文对混合型集成光学加速度计进行了深入的研究。从传感机理出发，推导了 光波在光纤中传播时相位变化与光纤应力应变之间的关系，导出了应力应变与加速 度的关系，从而建立了光波的相位变化与加速度的关系。阐述了铌酸锂波导型迈克 尔逊干涉仪的输出光强和输入加速度的关系。(从系统的角度出发，讨论了加速度计 的信号处理系统原理。根据介质介电常数张量特性以及平面波在各向异性介质中的 传播特性，详细讨论了铌酸锂晶体产生的电光效应情况。 集成光学芯片是加速度计的关键部分。了本文首先对双Y分支波导构成的波导干 涉仪的原理以及波导的弯曲损耗进行了论述。其次，论述了铌酸锂钛扩散波导相位 调制器的电极设计。根据电光效应的基本理论及工艺上的具体要求，采用了x切Y 传集总型电极调制；用计算机编程对电极的具体结构进行了计算，并对不同的电极 驱动电压下的电极尺寸进行了比较和选择，最终确定了电极的结构。然后论述了x 切钛扩散铌酸锂光波导及其带有金属包覆／介质缓冲层的偏振器结构的设计，理论上 计算并确定出1．3 H m铌酸锂光波导TEo模偏振器的参数。同时，对于X切钛扩质子 交换光波导偏振器结构及工艺也进行论述。l接着详细讨论了集成光学芯片的工艺制 作过程，以及集成光学芯片的外部封装；订论了单模光纤中由于弯曲而引起的功 率辐射问题，从而确定单模光纤的弯曲半径，提出了光纤与波导的耦合方案。 最后，对集成光学芯片完成了通光实验J 关键词： 混合型集成光学加速度计i 集成光学一 迈克尔逊干涉仪j 弯曲损耗． 钛扩散波导一 电光效应j 偏振器? Abstract”Research Abstract ”Research on optical system of the hybrid—integrated Optical accelerometer“is the sub’project of --Theoretical and experimental research on Hybrid—integrated acceleration seismic geophone” supported by Natural Science Foundation ofChina Acceleration can be measured by the hybrid-integrated optical accelerometer,which contains the technology of single mode fiber and integrated optics．The sensor is applied in seismic prospecting It receives seismic waves，and transmits them to the seismic instruments．So the seismic prospecting is influenced by the performance ofthe geophone heavily． In this dissertation，the theory of the hybrid—integrated optical accelerometer is analyzed deeply． Starting with the sensing mechanism，the relation between the phase change of the optical wave propagated in the optic-fiber and stress，strain of optic-fiber is derived．Then，the relation between stress．strain and acceleration iS addressed，and hence does the relation between acceleration and the phase change，simultaneously the relation of the output optical intensity of the Michelson interferometer of LiNb03 and the input acceleration is elucidated．In