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电子功能薄膜制备与测试 实验一 真空的获得与测量 一实验原理 真空:“低于一个标准大气压里的气体状态”。 相对于大气状态，在真空状态下气体的新特点： 1：气体分子数目的减少，即气体单位体积中所具有的分子数目的减少； 2：伴随着气体分子数目的减少，分子之间、分子与器壁之间相互碰撞的次数逐渐减少； 3：气体分子热运动自由路程的增大。 真空的划分 真空高低的程度是用真空度这个物理量来衡量的，所谓真空度，即是指低压空间中气态物质的稀薄程度。气体的压力越低，其稀薄程度越大，真空度越高。 机械泵: 扩散泵 真空的测量: U型压力计 热偶真空计（热偶规） 3) 电离真空计（电离规）: 二实验内容及步骤: 1. 开启设备电源，检查放气阀已经关闭。 2. 启动机械泵，打开活塞使机械泵与真空室相连，当真空系统的压强到1.3Pa以下时，接通油扩散泵的冷却水，接通加热电源，使扩散泵开始工作。 3. 测量压强的工作要一直进行，要注意扩散泵加热后压强的变化。当温差电偶真空计显示的系统的压强达到0.13Pa时，打开电离真空计电源，预热10分钟后，再使用电离真空计继续进行测量。 4.每隔30秒测量一下压强值并记录。 5.结束实验时，首先断开电离真空计和复合真空计的总电源开关，然后断开扩散泵的加热电源，大约过20分钟