比利时微电子研究中心30年发展概析和其启示.PDFVIP

第29卷 第10期 全球科技经济瞭望 Vol. 29 No. 10 2014年10月 Global Science, Technology and Economy Outlook Oct. 2014 比利时微电子研究中心 30 年发展 概析及其启示 胡开博，苏建南 （ ） 中国工业和信息化部电子科学技术情报研究所，北京 100040 IMEC 摘 要：比利时微电子研究中心（ ）用 30 年时间，从一个地方性微电子研究中心发展成为欧 洲最大、世界领先的产业共性技术研发组织，探索走出了一条独特的可持续发展道路。在系统梳理 IMEC 发展历程的基础上，重点研究了 IMEC 研究方向、组织结构、研究模式、经费收支、人员构成、 成果转化和地区作用，分析了 IMEC 发展成功的主要经验，包括：选择产业共性技术研究方向，构建 稳定开放式研发平台，获得政府长期持续资助，开展广泛国际合作，采用利益共享的商业模式及坚持 IMEC IMEC 中立性原则等。借鉴   的成功经验，我国半导体产业需要像   这种组织来聚合产业力量，增 强产业活力；应采取 IMEC 典型的经济实惠模式；应构建类似于 IMEC 的开放式产业共性技术研发平 台，以实现符合产业与市场规律的可持续发展的效果。 关键词：比利时；微电子研究中心；产业共性技术；产业联合项目 G325.64 A DOI 10.3772/j.issn.1009 8623.2014.10.009 中图分类号: 文献标识码： ： - 比利时微电子研究中心（IMEC ）的全称为 1.1 半导体制造工艺 Interuniversity Microelectronic Center IMEC ，即大学校际 1984 年， 选择了湿洗法和硅化物 2 个 微电子中心，是比利时弗兰芒地方政府响应鲁汶大 CMOS 工艺模块开展研究，随后，增加了光刻、 学Van Overstraeten 教授关于推动欧洲跨院校微电 互连等完整工艺流程所需的模块，并在 1986 年建 μm mm CMOS 成特征尺寸 1.25、晶圆尺寸 125 的 子研究合作的倡议，于 1984 年在鲁汶大学微电子 系的基础上成立的一个非盈利性组织。30 年来，中试线。此后，IMEC 工艺研究不断进步，平均 IMEC 秉承“研究开发超前产业需求310 年的微每 2 ～ nm 电子和信息通讯技术”的使命，逐渐发展成为一个 2014 年，分别研究了 45、32、22、10工 和 世界领先的国际化微电子研究机构，在半导体工艺 艺。为开展工艺研究和验证，IMEC 不断升级建设 领域创造了无数个世界第一，为全球半导体产业技 中试线（也称先导工艺线），分别于 1994、1999 mm 术开发、成果转化、人才培养作出了重要贡献。 和 2005 年，建成晶圆尺寸150、200300