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2002 12 VACUUM 3
真空科学与技术的一些前沿课题
徐成海
(, 110004)
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: T B7; O 484; T B71 . 1; T F 13; T G 156 : C : 1002-0 322( 2002) 06-000 3-04
Some front subjects of the vacuum science and technology
X U Cheng -ha
( S chool of Mechan ica l E ngineering and Au tom ation , N or theastern University , Sh eny ang 110004, Ch ina )
: Th s pape r tr es to d scu ss the latest aca dem c tr ends a nd a naly ses the research contents a nd d rect o ns and the
Abstract
fr ont subjects n the f eld of vacuum sc e nce a nd techno log y. W e hope tha t t can be ava la ble fo r r ef erence n pro duct o n、
teach ng a nd r esea rch .
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Key words vacuum f l m coat ng des cca t on metall urg y heat treat ment
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