洁净室的湿度测量-维萨拉.PDF

Daisuke Fujisawa / Regional Market Manager / Vaisala / Tokyo, Japan 洁净室的湿度测量 要想获得最佳的湿度测量数据，选择正确的测量仪器十分 重要。同时，还应定期按照可追溯性标准进行校准。 在洁净室内生产的产品范围很 燥。在这种情况下，相对湿度 在这种情况下，湿度传感器的 广，包括药物和半导体等。通 几乎保持在0%RH，但是露点温 耐用性和精度就显得十分重 常情况下，湿度、温度、颗粒 度对于被测气体的水分含量变 要。这些工厂会产生影响传感 和压力都是受控的，因为这些 化而言仍然非常敏感。 器元件的各种气体。 参数对产品质量和生产效率而 言具有非常重要的影响。 不同的应用，不同的需求 湿度和露点传感器技术 相对湿度 A制药厂通常配备有大量的洁 用于测量空气中水分含量的湿 净室。温度和湿度的控制和记 度传感器大致可分为两种类 相对湿度（%RH）用于描述存 录都严格按照GMP（优良制造 型。一种用于测量湿度，另一 在于空气和水的气体混合物内 规范）的要求执行。湿度传感 种则用于测量露点。在湿度水 的水蒸气含量。它是指空气中 器最重要的特性就是误差非常 平高于10%RH的空气中通常需 实际含有的水蒸气量与当时温 小。进行精确的校准对于传感 要进行湿度测定，在低湿度的 度下饱和水蒸气量的百分比。 器而言至关重要，这样可以检 环境下，则倾向于测量露点。 在生产现场出现的问题，例如 查其在长时间内是否存在漂移 在某些高湿条件下，采用露点 材料的膨胀和收缩、硬化和软 现象。 测量会更方便。 化、液体的粘度变化、微生物 在食品加工厂，必须将生 的繁殖、静电增加、腐蚀和生 产现场保持或低于某一特定的 湿度和露点传感器包括： 锈等很大程度上都受到湿度的 湿度。通常为40%或更低的湿 影响。 度值。这有助于抑制可能引发 1. 干湿球湿度计 食物中毒的微生物和细菌的繁 2. 机械湿度计 露点 殖。 3. 氯化锂露点仪 在半导体和电子产品工厂， 4. 电阻型湿度计 露点（Td）是指露水或冷凝 产品的更新换代越来越快。因 5. 电容型湿度计（结露仪） 水在冷却气体上形成时的温 此，在生产过程中对湿度和露 6. 镜面露点仪 度。露点温度用于描述气体（ 点的控制也变得更加严格。在 例如空气）中非常微小的水分 生产现场的微环境下，常常要 传感器1 - 6可以测量一般的湿 含量。半导体在微机械加工过 求达到+ / - 1%RH的超高精度。 度。传感器5和6也可用于低露 程中，由于水分子被认为是污 液晶显示器制造厂和涂料生 点的测量。每种技术的原理简 染物，因此其加工环境极其