以排序佳化模拟为基础的半导体生产排程法则快速选取-Description.PDF

國立臺灣大學電機工程學研究所博士論文 指導教授：張時中、陳俊宏 博士 以排序佳化模擬為基礎的半導體 生產排程法則快速選取方法之設計 Design of Ordinal Optimization-based Simulation Methods for Efficient Scheduling Rule Selection in Semiconductor Manufacturing 研究生：謝博偉 撰 中華民國九十一年六月 誌 謝 三年充實而愉快的研究生活中，張時中老師的指導，在研究方法及處事態度上，帶 給我莫大的啟發，在此致上誠摯的謝意。感謝陳俊宏教授多次返台指導，激發許多新的 想法。感謝口試委員們對於論文提供寶貴的建議和指教，使得論文內容更正確完整。本 論文部分係由國科會計畫(NSC89-2212-E-002-040 、NSC89-2213-E-002-119) 、 Semiconductor Research Corporation 計畫(090E1092)及台灣積體電路公司計畫(91-S-B14) 支持下完成，特此致謝。 感謝研究期間共同參與討論的忠陽、亭凱、明德、依君、冠宏、毓廷及意如，每次 的討論，都使我獲益良多。感謝所有控制與決策實驗室的研究伙伴，新民、和盛、治民、 偉誠、慶哥、姜兄、文傑、小朱、新禾、宜學、eddy 、小錢、小戴、龍哥、小葉、輝哥、 介山、gypsy 、一修、阿吉、小馬、境倫、陳逸、嘉胤、明豐、建志、志宇、奕驥及思 賢。感謝助理Eva 在行政事務上的協助。 最重要地，感謝親愛的爸爸、媽媽多年來不計一切地支持、付出。感謝哥哥智泓及 女友舒萍在我研究、寫作遇到瓶頸時，提供新的想法，給予我支持與幫助。僅以此論文， 與所有關心我的人共享這份喜悅。 摘要 生產排程對於半導體廠的產出量、生產週期以及達交率等績效具有顯著的影 響。半導體排程的問題，主要包括決定晶片何時投入生產線的投線(release)問題，以 及決定晶片在機器間的派工(dispatching)問題。隨著半導體產業的投資日益增加以及 生產操作過程複雜度提高，有效率的生產排程越加具挑戰性且重要。 目前半導體廠人員經常採用的生產排程方式，是從工廠現有的排程法則資料庫 中，選取適合的排程法則。然而排程法則的數目會隨著生產排程的控制因素個數以 組合方式成長。以實際應用的角度來看，快速地選取出一個夠好的排程法則比起花 費許多時間去尋找最佳排程來得有價值。 為了快速地從資料庫中選取一個夠好的排程法則，在這個論文中，我們創新地 結合排序佳化(ordinal optimization)以及實驗設計(design of experiments)的概念，發展 了一個快速的模擬方法。有別於傳統模擬方式求取排程法則精確的績效值，排序佳 化比較各個排程法則績效值的相對排名。我們利用實驗設計方法大幅刪減需要模擬 的排程法則個數。這個方法首先找出一個排程法則的正交陣列(orthogonal array) ，藉 由模擬正交陣列中的排程法則，建立所有排程法則的估計績效模型。我們導出一個 新的推算式，用來計算正確地選擇績效好的排程法則的機率。這個績效評估準則的 設計考慮了與最佳績效的差異在些微範圍內的排程法則。犧牲些許的績效可以大量 地縮短計算時間。利用一個排序比較的步驟，根據給定的績效評估準則，篩選出若 干個排行前幾名的排程法則進行更進一步的模擬評估。我們採用了陳氏在 1997 年發 i 展的排序佳化及最佳計算預算分配(optimal computing budget allocation)方法，來增進 進一步模擬的效率。首先篩選過的前幾名排程法則都進行若干次模擬。最佳計算預 算分配方法在模擬過程中，聰明地選擇較有潛力的排程法則進行模擬，直到預先設 定的信心水準達到為止。 我們將這個排序佳化實驗設計(OO-based DOE)方法應用在半導體排程 ，一方面 評估這個方法的效率，一方面探討好的排程法則的特性。在排程法則的探討方面， 我們進行兩組模擬研究。第一組是探討發生嚴重的生產操作干擾時，排程法則的動 態選取。在投線法則固定的情況下，派工法則可以每週改變。模擬結果具體顯