网站大量收购独家精品文档,联系QQ:2885784924

激光器波长测量装置研究-仪器仪表工程专业论文.docxVIP

激光器波长测量装置研究-仪器仪表工程专业论文.docx

  1. 1、本文档共59页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师的指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□,在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘要 激光干涉技术是重要的测量技术,广泛应用于尺寸、形位和表面形貌测量。在 这些测量中,激光波长均作为测量基准,其稳定性、准确性对仪器的精度具有很大 的影响。然而,由于环境条件和驱动电源波动的影响,激光器波长变化不可避免。 因此,为保证仪器的测量精度和稳定性,激光器波长的实时测量校准是必要的。本 文基于光栅衍射原理,开发一种激光器波长测量装置,主要研究内容与成果包括: 1、研究分析了四象限光电探测器(QD)光斑中心定位原理,提出了基于光栅衍射 原理结合双四象限光电探测器进行光斑中心定位的波长测量原理,设计了测量系统 架构,构建了测量装置。 2、设计了四象限光电探测器信号处理电路,包括探测器前置放大电路和光斑中 心计算电路。其中,前置放大电路将光电单元电流信号转换为电压信号,光斑中心 计算电路将四路电压信号转换为带有光斑中心信息的电压信号,通过 PCI 采集卡输 入计算机进行处理。 3、建立了均匀分布和高斯分布两种激光光斑模型,采用 Matlab 仿真,得到了 四象限探测器在理论和实际情况下,不同光斑的中心定位偏移量曲线和误差曲线。 根据仿真结果,分析了影响四象限光斑中心定位精度的一些因素,给出了误差补偿 办法。在此基础上,完成了波长测量系统测量程序设计。 4、对激光器波长测量装置进行了实验测试,包括系统的稳定性测试和重复性测 试,并进行了误差分析。实验和分析结果反映了测量系统的有效性。 关键词:激光器;波长测量;光栅衍射;四象限光电探测器;光斑中心定位算法 II II Abstract Laser interferometry is an important measurement technology. It is widely used in the measurements of dimensions, form and position, surface topography. In these measurements, the output wavelength of the laser is the measurement standard. Both the stability and the accuracy of the laser wavelength have a direct effect on the accuracy of these instruments. The laser wavelength can be easily affected by changes of environment so that the change of the laser wavelength couldn’t be avoided. Therefore, it is so necessary to measure and calibrate the real-time output wavelength of the laser that the instruments measurement accuracy and stability can be ensured. In this paper, a measurement and calibration device for laser wavelength is developed, which is based on the principle of grating diffraction. The main research contents and results are as follows: Firstly, the calculation principle o

您可能关注的文档

文档评论(0)

131****9843 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档