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独创性声明
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日期: 年 月 日 日期: 年 月 日
华
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文
I
I
摘要
激光干涉技术是重要的测量技术,广泛应用于尺寸、形位和表面形貌测量。在 这些测量中,激光波长均作为测量基准,其稳定性、准确性对仪器的精度具有很大 的影响。然而,由于环境条件和驱动电源波动的影响,激光器波长变化不可避免。 因此,为保证仪器的测量精度和稳定性,激光器波长的实时测量校准是必要的。本 文基于光栅衍射原理,开发一种激光器波长测量装置,主要研究内容与成果包括:
1、研究分析了四象限光电探测器(QD)光斑中心定位原理,提出了基于光栅衍射 原理结合双四象限光电探测器进行光斑中心定位的波长测量原理,设计了测量系统 架构,构建了测量装置。
2、设计了四象限光电探测器信号处理电路,包括探测器前置放大电路和光斑中 心计算电路。其中,前置放大电路将光电单元电流信号转换为电压信号,光斑中心 计算电路将四路电压信号转换为带有光斑中心信息的电压信号,通过 PCI 采集卡输 入计算机进行处理。
3、建立了均匀分布和高斯分布两种激光光斑模型,采用 Matlab 仿真,得到了 四象限探测器在理论和实际情况下,不同光斑的中心定位偏移量曲线和误差曲线。 根据仿真结果,分析了影响四象限光斑中心定位精度的一些因素,给出了误差补偿 办法。在此基础上,完成了波长测量系统测量程序设计。
4、对激光器波长测量装置进行了实验测试,包括系统的稳定性测试和重复性测 试,并进行了误差分析。实验和分析结果反映了测量系统的有效性。
关键词:激光器;波长测量;光栅衍射;四象限光电探测器;光斑中心定位算法
II
II
Abstract
Laser interferometry is an important measurement technology. It is widely used in the measurements of dimensions, form and position, surface topography. In these measurements, the output wavelength of the laser is the measurement standard. Both the stability and the accuracy of the laser wavelength have a direct effect on the accuracy of these instruments. The laser wavelength can be easily affected by changes of environment so that the change of the laser wavelength couldn’t be avoided. Therefore, it is so necessary to measure and calibrate the real-time output wavelength of the laser that the instruments measurement accuracy and stability can be ensured. In this paper, a measurement and calibration device for laser wavelength is developed, which is based on the principle of grating diffraction. The main research contents and results are as follows:
Firstly, the calculation principle o
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