现代材料分 析方法第十二章 扫描电子显微镜内容资料.pptVIP

第十二章 扫描电子显微镜;扫描电镜的优点;Date;Date;Date;扫描电镜原理— JEOL动画演示;第一节 电子束与固体样品相互作用;一、背散射电子;二、二次电子;Date;三、吸收电子;四、透射电子;五、特征X射线;六、俄歇电子;七、阴极荧光;八、感应电动势;上述信息，可以采用不同的检测仪器，将其转变为放大的电信号，并在显象管荧光屏上或X－Y记录仪上显示出来，这就是扫描电镜的功能。;第二节  扫描电镜结构和原理;扫描电子显微镜由 电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、 信号检测放大系统、 图像显示和记录系统、 电源系统 和真空系统等部分组成;Date;一、电子光学系统;SEM与TEM的差别 ? 扫描电镜的电子枪与透射电镜的电子枪相似，都是为了提供电子源，但两者使用的电压是完全不同的。 ? 透射电镜的分辨率与电子波长有关，波长越短（对应的电压越高），分辨率越高，故透射电镜的电压一般都使用100－300kV, 甚至400kV、1000kV。 ? 而扫描电镜的分辨率与电子波长无关，与电子在试样上的最小扫描范围有关，电子束斑越小，电子在试样上的最小扫描范围就越小，分辨率就越高，但还必须保证在使用足够小的电子束斑时，电子束还具有足够的强度，故通常扫描电镜的工作电压在1－30kV.;电子枪;3．偏转系统;右图给出了电子束在样品表面进行扫描的两种方式。进行形貌分析时都采用光栅扫描方式(图a)，当电子束进入上偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折。发生二次偏转的电子束通过末级透镜射到试样表面。 ;4 样品室;二、信号收集及显示系统;Date;三. 扫描电镜的工作原理;Date;第三节 主要性能指标;一、分辨本领与景深;Date;表 各种信号成象的分辨本领;扫描电镜的景深是指在样品深度方向可能观察的程度。在电子显微镜和光学显微镜中，扫描电镜的景深最大，对金属材料的断口分析具有特殊的优势。 ;二、放大倍数及有效放大倍数;第四节 表面形貌衬度原理及其应用;一、像衬原理 ? 像的衬度就是像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化。 ? SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子???背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等。 ? 扫描电镜像的衬度来源有三个方面：a)由试样本身性质（表面凸凹不平、成分差别、位向差异表面电位分布）；b)信号本身性质（二次电子、背散射电子、吸收电子）；c)对信号的人工处理。 ;二、二次电子成象原理;Date;二次电子像衬度的特点：;三、二次电子形貌衬度的应用;Date;Date;水泥浆体断口;Date;Date;第五节 背散射电子图象衬度原理;一、背散射电子形貌衬度特点;Date;二、背散射电子原子序数衬度原理;三、背散射电子检测器工作原理;Date;背散射电子像的衬度特点：;第六节 吸收电子衬度;Date;扫描电镜操作演示;第七节 样品制备;真空蒸镀机