球面光学元件表面疵病检测技术探究.pdfVIP

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2019-04-30 发布于广西
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球面光学元件表面疵病检测技术探究.pdf

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第35卷第2期光学仪器 V01．35，No．2 2013年4月 OPTICALINSTRUMENTS April，2013 文章编号：1005—5630(2013)02—0007—04 球面光学元件表面疵病检测技术研究* 王科，刘缠牢 (西安工业大学光电工程学院，陕西西安710021) 摘要：针对现有球面光学元件表面疵病检测技术研究较少的情况，根据疵病对光的散射特性，提出了一种基于机器视觉技术检测球面光学元件表面疵病的方法。实验分析了光照角度、光强大小和球面光学元件曲率半径对疵病散射光成像质量的影响。并对口径为①14mm，曲率半径为 13mm的球面光学元件表面进行了检测，实验表明，该技术对元件样品上10／,m以下的表面疵病可进行有效的检测。关键词：球面光学元件；表面疵病；散射光；机器视觉中图分类号：U472．9文献标识码：Adoi：10．3969／j．issn．1005—5630．2013．02．002 Detection researchof optical technology spherical disease elementsurfacedefect WANGKe，LIUChanlao of (School 710021，China) OptoelectronicEngineering，Xi’anTechnologicalUniversity，Xi’an onthefactthatthecurrentresearchofdetection for Abstract：Based technology sphericaloptical defectdiseasewas thebasisof betweendefect elementsurface little，on very scatteringproperties diseaseand methodofdetection researchfor elementsurfacedefect light，a technology sphericaloptical onthemachinevision was forward．The three diseasebased technologyput experimentsanalyzed of affectthe of factors(illumination curvature)that angle，lightpowefful，radius imagingquality surface0f elementwas defectdisease addition，the teSted(caliber scatt