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D/f = 1/5.5
1200L/mm
500nm
0—2mm
0.01mm/
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100MHz
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3 20nm
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2%
200-800nm ()
0.4nm
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3
10
2.7nm/mm
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6 9
10 10
ΦR
2 ( )
Φ 4π ⋅Φ ⋅A ⋅N ⋅L ⋅K ⋅sin a θ/ 2
R L
1
L
A1028 1029MOL/
N
L
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-1
cm
y-
1
18797.0cm 5320
y
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