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多线切割机的切割工艺及发展 2010年12月7日 PAGE \* MERGEFORMAT 1 Xinyu College 毕业设计（论文） （ 2011 届） 题 目 多晶硅切割工艺 学 号 0810022026 姓 名 刘文杰 所 属 系 太阳能科学与工程系 专 业 光伏材料加工与应用技术 班 级 08光伏应用（2）班 指导教师 江民华 新余高等专科学校教务处制 摘要 介绍了多线切割机的工作原理，指出控制张力是切割工艺的重要指标。讨论了多线切割机在工作中的主要影响因素。钢线外皮Cu会造成Si片表面的金属残留，钢线的磨损会影响Si了钢线带动砂浆切割是切割工艺的核心，给出了Si切割理论片的计算方法。指出了未来线片的厚度，砂浆的质量是以及在切割过程中产生的消磨热都是影响切割机的重要指标。分析切割机的发展方向。 关键词：多线切割 砂浆 钢线张力 消磨热 Many lines of cutting machine and development processes Summary Introduced how the machine works, which is cut out the control of an important marker. Discussed how the machine is in the work of the major factors influencing. Steel wire cu cause si of the skin surface of the metal of the steel wire worn on the si of the thickness, 砂浆 quality is, in the process in the heat is on the target machine. Analyze the cut steel wire cutting processes 砂浆 is the core of the si cutting theory of the way. the machine direction of the development of the line. Key word:multi-wjre eaw Shajiang Steel wire tension Kill hot 目 录 绪论…………………………………………………………………………(4) 第一章HCT多线切割机的构成及特点……………… (4) 1.1设备介绍……………………………………………………………… (4) 1.2设备构成……………………………………………………………… (5) 1.3设备特点……………………………………………………(5) 第二章切割液浓度对切割的影响………………………… (5) 2.1钢线上的Cu对片的影响……………………………………… （8） 2.2工艺中其他的影响良品率因素和解决方法……………………（8） 2.3切割工艺过程分析……………………………………………（9） 第三章多线切割机的改进……………………………… （10） 第四章多线切割机的发展……………………………………（10） 第五章工艺总结………………………………………………(12) 参考文献…………………………………………………………………(12) 致谢………………………………………………………………………(13) 绪论 第一台实用的光伏切片机台诞生于1980年代，它源于Charles Hauser 博士前沿性的研究和工作。Charles Hauser 博士是瑞士HCT切片系统的创办人，也就是现在的应用材料公司精确硅片处理系统事业部(PWS)的前身。这些机台使用切割线配以研磨浆来完成切割动作。今天，主流的用于硅锭和硅片切割的机台的基本结构仍然源于Charles Hauser 博士最初的机台，不过在处理载荷和切割速度上已经有了显着的提高。 多线机切割晶片的弯曲度（bow）小，翘曲度（Warp）小，平行度（Tarp）好。总厚度公差小（TTV）小，片间切割损耗少，加工晶片表面损伤层浅，粗糙度小，切片加工出片率高，生产效率高，投资回报率高 因此，应用多线切割机是发展规模化生产和提高生产效率的必然选择，使用多线切割机加工各类晶片是必然趋势，特别适用于太阳能光伏电池超薄机基片的批量加工。 第一章HCT多线切割机的构成