镁掺杂氧化锌薄膜的制备及光学特性分析-光学专业毕业论文.docxVIP

辽宁师范大学硕士学位论文}商 辽宁师范大学硕士学位论文 }商 要 氧化锌(Zinc oxide，简称Zn0)及相关的Zn(Mg，Cd)O材料体系作为新一代的紫外激 发发射和发射激光器件备受关注。随着半导体器件的不断发展，两个亟待解决的问题也 相应出现，就是P型掺杂及带隙工程。Zn0激活层作为双重异质结光激发材料，相关的P 型掺杂及P—rl结器件近些年已经有了很好的进展。为了更好的适应科学的进展发挥ZnO 薄膜光、电、热、磁等物理化学优良特性、更大的实现其潜在价值，提高氧化锌在紫外 光探测器、发光管、表面声波器件和声敏压敏器件上的应用成为了研究热点。实验证明 掺杂是一个好方法，通过选择恰当的制作工艺和掺杂物质可以很好的对其性能进行改 盖 本文采用了经济、环保、条件可控工艺简单且适于大面积成膜的超声喷雾热解技术， 在石英玻璃衬底上生长出了纯Zn0薄膜、不同衬底温度下和不同浓度下的ZnM90合金薄 膜，通过扫描电镜(SEM)、X衍射衍射仪(XIm)、光致发光谱(PL谱)和透射光 谱的表征对样品薄膜形貌、微结构及光性能测试进行了系统分析。实验结果表明制备纯 Zn0薄膜样品的优化条件为：衬底温度500℃、衬底到喷嘴的距离2．5cm、载气流速为 0．8L／min。在此基础上制备了不同衬底温度下(450℃、470℃、500℃、530℃、550℃) 的ZnMg。，O薄膜，其透过率均在80％以上，在