执ll膜式空气质量流量微型传感器的自诊断-暨南大学.PDFVIP

第30卷第5期 暨南大学学报(自然科学版) V01．30No．5 JournalofJinan Oct．2009 2009年10月 University(NaturalScience) 执 ，ll、膜式空气质量流量微型传感器的自诊断 李礼夫， 张大杰 (华南理工大学机械与汽车工程学院，广东广州510640) [摘要]以微硅片传感器件为对象，研究汽车进气的热膜式空气质量流量微型传感器的自诊断原理及其实现方 法．该方法根据内燃机中的热量传递和空气质量流量测量的基本原理，设计了基于自诊断的热膜式空气质量流量 微型传感器，该传感器由基于Heraeus微硅片的加热传感单元与温度传感单元、信号处理与转换器、加热器、加热控 制器和微型计算机组成．针对该传感器结构和空气在传感器中的强制对流方式，从理论与仿真实验两方面，推导出 在一定的发动机工况下，加热器的热流量与空气质量流量的关系，获取了加热器表面温度、加热器上流区域的温度 和其下流区域的温度随发动机工况变化而改变的关系，并以此来对该微型传感器进行故障的自诊断，理论与仿真 实验表明，该方法具有可行和实用的特点． 【关键词】空气质量流量测量；热膜式传感器；微型传感器；故障自诊断 [文献标识码]A [文章编号]1000—9965(2009)05—0483一04 [中图分类号]TP212．12；TH814 Self forhotfilmmassairflowmicrosensor diagnosis U ZHANG Li·fu． Da-jie ofMechanicalandAutomotive China of 510640，China) (College Engineering，SouthUniversityTechnology，Guangzhou methodonhotfilmmassairflowmicrosensorhasbeen forve— [Abstract]Theself-diagnosis developed airflowrate for hieleintakeairinthe onthe ofheattransferandmass measurement theory paper．Based microsensoron is is internalcombustion hotfilmmassairflow engine，first，a serf-diagnosisdesigned．It and ofheat unitwithHeraeus con— composedsensingunit，temperaturesensing silicon，signalprocessor