利用迹线测量晶体材料中特征面取向的EBSD方法.pdf

第 27 卷 第 4 期 电　子 　显 　微 　学 　报 Vol27 ,No4 2008 年 8 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 200808 ( ) 文章编号 2008 利用迹线测量晶体材料中特征面取向的 EBSD 方法 1 2 1 谢季佳 , 徐 　娟 , 洪友士 ( 1. 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 ,北京 100190 ; 2 . 河北工业大学材料学院 ,天津 300130) 摘 　要 : 本工作研究了从单一投影面测量块体晶体材料内部特征面的 EBSD 方法 。首先对样品表面进行 SEM 观察 并采集图像 ,利用图像分析软件测量各迹线在样品台坐标系的取向。然后进行 EBSD 扫描获得迹线两侧各晶粒对 应的取向 ,进一步利用坐标变换关系计算出晶粒内部的特征面迹线在晶格坐标中的方向指数 。最后将全部测量的 迹线的极点标示到反极图中 ,并与各低指数晶面的大圆位置进行对比 ,重合度最高的晶面就是特征面最可能的晶 体学取向面 。 关键词 : 迹线 ; 晶体取向; 电子背散射衍射 ;反极图 中图分类号 : O76 ;TG11523 　　文献标识码 : A 　　晶体材料生长过程总是存在一些特定的晶面优 孪晶面的方法 ,利用乌氏网和极图对两条迹线的垂 先生长 ,而在疲劳与断裂过程中也容易沿某些特定 面求交点可以定出孪晶面法向的极点 。但考虑到晶 的晶面开裂 ,因此测量这些特征面的晶体学取向对 体对称性的影响 ,在利用乌氏网对极图进行旋转操 研究材料的生长与破坏机制非常重要 。对于暴露在 作时存在多种选择 。而且当同时存在多个不同孪晶 ( ) 外的特征面 ,通过电子背散射衍射 EBSD 系统配合 面时将很难给出准确的结果 。 样品台的倾转可对其进行精确的测量[ 1～3 ] 。但对于 本文对上述方法进行改进 ,直接将迹线的极点 块体材料中没有暴露在外的特征面 ,如孪晶面或微 标到反极图中并与特征晶面所在大圆进行对比,可 裂纹面 ,测量过程相对复杂 。由于特征面是一个空 以测出特征的晶面 , 同时避免 EBSD 给出的数据 由 间的平面 ,在块体样品表面所观察到的实际是这些 于晶体对称性带来的影响 。 面与观察面相交所形成的迹线 。要测量这样一个空 [4 ,5 ] 1 　实验方法 间的面 ,Randle 提出两种方法 : 一种需要通过获 得同一个面在两个不同的观察面上的迹线来计算该 如图 1 所示 ,先建立样品坐标系 RDTDND 和 平面的空间取向 ,再结合 EBSD 的测量结果给出该 各晶粒对应的晶格坐标系 。这里的晶格坐标系各轴 平面的晶体学指数 ;另一种则采用精细定量抛光的 向分别是沿晶胞的[ 100 ] 、[ 010 ] 和[ 001 ] 方向建立 , 方法 ,通过将样品抛光不同深度来获得特征迹线的 各基矢长度就等于晶胞的晶格常数 。图中A ,B 为