基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法!.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 4’ / $$/ / ， ， ， =* )4’ )/ ?@*A $$/ （ ） !$$$5#$+$$/+4’ $/ +#(#5$/ 1671 8.9:;61 :;;61 !$$/ 6BCD ) 8BAE ) :F ) 基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法! ） ）） ! ! 巴音贺希格 朱洪春 !）（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 !#$$## ） ）（中国科学院研究生院，北京 !$$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ ( #$ $$’ !! 作为对光栅刻划工艺的理论指导，提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法，解决了 高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题 以刻线密度为 的紫外光栅为例，对光栅主截 ) !$$ *+,, 面上的实际槽形纵横坐标扫描取值，进而拟合出槽形函数，经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因，并通过改 进工艺，使光栅衍射效率提高了约$ - ) 关键词：刻划光栅，槽形函数拟合，衍射特性，分析方法 ： ， !## %!$ %!!$. 的光栅其衍射效率测量值与理论值相差甚远 导致 ) !3 引 言 这种偏差的原因究竟是什么，未曾见到相关的文献 报道) 紫外光栅属于亚波长光栅，分析其衍射特性需 刻划光栅是金刚石刻划刀对铝膜挤压、抛光，从 要采用严格矢量理论 分析光栅问题时，大多事先设 ) 而使铝膜表面按照设计要求发生适当形变的过 定槽形函数的一种数学表示形式，然后逐步逼近已 ［，］ 程! ) 这种形变是以塑性形变为主，并伴有非线性 知或需要的规则槽形 高刻线密度的紫外光栅在刻 ) 弹性形变的耦合形变) 由于被挤压出的铝质栅线聚 划过程中的形变程度究竟如何，尚未做过数量级上 积了弹性势能，在恢复力的作用下要释放能量，其结 的考证，因而用传统方法仿真未知的光栅槽形显然 果是使光栅的实际闪耀角比刻划刀定向角小（因为