浮法在线low-e玻璃退火窑设计及控制.docVIP

PAGE PAGE 5 浮法在线low-e玻璃退火窑的设计及控制 满金仓 （威海蓝星玻璃股份公司 威海264200） 摘要：结合在线低辐射镀膜的特性，论述了在线LOW-E镀膜生产线退火窑设计和操控应注意的几个问题。 关键词：low-e 退火窑 设计 操作 退火窑是浮法玻璃生产线的三大热工设备之一。其主要任务是创建一个匀热和满足玻璃结构调整需要的均匀温度场，保证玻璃带在退火窑内各区的降温速度，减少玻璃各部分间的结构差，形成一个受控的冷却过程，即满足退火工艺制度的要求。其主要目的是减弱和防止玻璃中出现过大的残余内应力和光学不均匀性，稳定玻璃内部结构。退火质量的优劣直接影响玻璃的质量性能及成品率，在浮法玻璃生产中具有举足轻重的作用。国内浮法玻璃大多采用cnud和stein两类退火窑，在退火窑的结构设计和操控方面取得了很多经验。嫁接于浮法工艺基础之上的在线低辐射玻璃是新型节能环保材料，如何设计和操控退火窑，直接影响到企业的生产效益，是保证先进材料下线的基础和前提，也是在线low-e玻璃生产的一个重大课题之一。 在线低辐射low-e玻璃的特点 在线低辐射low-e玻璃目前广泛地采用化学沉积技术，在锡槽和退火窑进口实施CVD化学气相沉积和MOCVD金属有机物化学气相沉积，在浮法玻璃上表面形成在线Low-E玻璃的膜层结构，实现玻璃材料的改性。膜层主要是由折射率梯度变化的中间层（也称为阻挡层或颜色衰减层）和低辐射层组成。低辐射层作为外膜层，主体成分是掺杂的Sn02-n-型导电薄膜，导电性质介于传统半导体（如Si、Ge、GaAs）和金属之间。其本征吸收边缘位于λ≈3450A0，决定其约90%的紫外吸收、90%的可见光透射比。由于高浓度的（1020cm-3）自由电子吸收，在中远红外区Sn02有接近90%的反射率，故Sn02有阻断远红外热辐射能的功能。在线低辐射玻璃与普通浮法玻璃具有鲜明的区别。 在线低辐射low-e玻璃与普通浮法玻璃相比具有下列特征： 性 能 表面类型 发射特性 接 受 特 性 辐射率 吸收率 反射率 透射率 Low-e表面 低 低 高 低 玻璃表面 高 高 低 低 在线低辐射镀膜工艺对浮法退火窑的要求 我们知道，在线CVD工艺膜层反应器所处环境温度的均匀性和气流稳定性，是保证在线CVD低辐射玻璃生产质量的前提和条件。在线低辐射镀膜玻璃因其成膜在退火窑，因而对于退火窑设计和工艺提出了更高的要求，所以在设计在线低辐射镀膜玻璃退火窑时，要充分考虑并确保退火窑具有良好的保温性能，实现温度均匀的调节性能和稳定适宜的气流流向和大小控制性能。在线低辐射玻璃退火窑结构与功能分区与浮法玻璃相似，其结构分区、换热方式、冷却介质流向、保温状态和各区的主要功能如下图所示： 分 区 A0 A B C E1 D E2 F 冷 却 方 式 气 体 辐 射 气 体 辐 射 气 体 辐 射 气 体 辐 射 自 然 冷 却 热风循环对 流 自 然 冷 却 冷风强制对 流 流 向 顺 流 顺 流 逆 流 逆 流 / 逆 流 / 垂 直 保 温 状 态 密 闭 保 温 密 闭 保 温 密 闭 保 温 密 闭 保 温 密 闭 不保温 密 闭 不保温 敞 开 不保温 敞 开 不保温 功 能 镀膜区 预退火 重要 退火区 退火 后区 过渡区 冷却区 过渡区 冷却区 2.1 A0区— 在线低辐射镀膜玻璃属于复合CVD成膜工艺，需要在退火窑进口，温度在600℃左右区域利用浮法玻璃具有的热能激活气相金属有机物反应。因此需要增设气相反应区A0区，一般设计长度为3-9米，用于安装镀膜反应器,提供反应的平台。退火窑MOCVD工艺是利用金属有机物热分解反应形成需要的膜层物质，属于吸热反应，加之反应器的冷却和温度调整需要，在A0区一般设计时上部不设冷却器，底部辐射式管束冷却器与A区相连，板上布满电加热等调温手段。电加热一般横向精细分区，功率分配均匀。A0区电加热的布置，对于在线低辐射镀膜玻璃生产是非常重要的。一方面满足于退火窑烘烤加热所需，一方面便于在线低辐射玻璃生产时，弥补反应装置对进入退火窑玻璃板温度造成的影响，提供反应所需能量，调整反应区温度和横向分布的均匀。A0区上部顶盖设计成活动式可吊装结构，实现与镀膜设备的切换。 退火窑散热方式的改变 退火窑即是受控的冷却设施，热量均衡散失是退火窑通过热量传递实现降温的手段。众所周知，热传递包括传导、对流、辐射三种基本传热方式，任何冷却过程都是某种方式或几种方式的组合。根据LOW-E玻璃的表面特性可知，LOW-E玻璃膜面与非膜面热传递的方式存在明显的差异。辐射冷却传热对于膜面的作用，大部分被反射，作用很弱；玻面则能通过辐射和其他传热方式发挥很大的作用。在不同的传热方向上，玻璃的综合散